微小部蛍光X線分析装置（XRF）

金属材料を主体にどのような元素で構成されているか分析することができます。

　蛍光Ｘ線(XRF)分析装置は、試料にＸ線を照射し発生する蛍光Ｘ線を測定することで元素の確認（定性）や、検出された各元素のピーク強度を理論計算(FP法)することで大まかな含有量（半定量）を得ることができる装置です。
　金属，半導体，有機物及びセラミックスとあらゆる固体に対応でき、元素情報を得るための入り口的な装置として、中小企業から大企業の多種多様なニーズに対応できる装置です。

装置

微小部蛍光X線分析装置（XRF）

特徴

♦ 大きい試料も非破壊で測定
♦ 微小からバルクまでの分析領域
♦ 広範囲の高速マッピング

メーカー

SIIナノテクノロジー

型式

SEA6000VX HSFinder

仕様

Ｘ線源空冷式小型X線管球（Wターゲット）、コリメータ方式
Ｘ線照射向き上面照射
分析領域200μm，500μm，1.2mm，3mm
分析元素Mg～U　（Heパージ使用時 Na～U）
マッピング面積250×200mm

分析事例（クリックで各分析事例に移動します）

メモリー基板のマッピング分析

  • 面分析により各元素の分布を確認することができます。

    メモリー基板の面分析
    大きな試料にも対応可能です（最大250×200mm）
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    • 試料像
    • 試料像
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    • マッピング重ね合わせ<br>赤（Cu）, 緑（Ag）, 青（Pb）
    • マッピング重ね合わせ
      赤（Cu）, 緑（Ag）, 青（Pb）

ご利用を希望される方へ

今回のような測定を実施した場合は、下記料金表が適用されます。詳細は、ご相談願います。

試験計測料金

NO.項目単位料金担当部名
K1212微小部蛍光Ｘ線分析（XRF）　面分析面分析１条件につき（５元素まで）13,750川崎技術支援部

金属製品の素材確認

  • XRFの定性分析により、金属製品の材質を確認することができます。

    金属製品の素材確認
    ステンレスと思われる金属製品があり、これがSUS304であるか、SUS316であるか確認したいという相談が持ち込まれた
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    • 図1　試料像 <br>（中央の1.2mm角の範囲にX線を照射して測定）
    • 図1　試料像
      （中央の1.2mm角の範囲にX線を照射して測定）
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    • 図2　定性分析結果<br> モリブデン(Mo)が検出されていることから、SUS316に近い鋼種と推察された。
    • 図2　定性分析結果
      モリブデン(Mo)が検出されていることから、SUS316に近い鋼種と推察された。

ご利用を希望される方へ

今回のような測定を実施した場合は、下記料金表が適用されます。詳細は、ご相談願います。

試験計測料金

NO.項目単位料金担当部名
K1210微小部蛍光Ｘ線分析（XRF）１試料１条件につき8,030川崎技術支援部
  • この装置・試験等に関連するお問い合わせ
  • 担当：川崎技術支援部