マイクロフォーカスX線検査装置（μF‐X線）

装置

マイクロフォーカスX線検査装置（μF‐X線）

メーカー

メディエックステック社

型式

MXT-160UU

仕様

最大試料寸法	300mm×250mm
管電圧	40～140kV
焦点寸法	1μm以下
ステージ可動範囲	X方向 300mm, Y方向 250mm, Z方向 250mm

用途

・パッケージ内部の部品配置観察、亀裂や欠陥の調査
・実装基板のBGA製品検査
・動作不良製品、部品の非破壊内部観察

応用例

・パッケージ内部の部品配置観察、亀裂や欠陥の調査
・実装基板のBGA製品検査
・動作不良製品、部品の非破壊内部観察

分析事例（クリックで各分析事例に移動します）

• X線透過観察事例　（マイクロフォーカスX線検査装置（μF‐X線）　メディエックステック社 MXT-160UU）

X線透過観察事例　（マイクロフォーカスX線検査装置（μF‐X線）　メディエックステック社 MXT-160UU）

• 観察例1　PCのCPU
  
  
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  • PCのマザーボードに搭載されたCPUの透過画像

• 通常のICはリードフレームと呼ばれる端子で接続されますが、CPUは端子では数が足りないためデバイス背面に並べられたボール状のはんだにより電極と接合されます。
  この接合方式ははんだの形状からBGA（Ball grid array）といわれます。
  この試料は不良品ではないので特に問題はありませんが、接合不良の場合ははんだが変形していたり、隣同士がくっついたりした様子が確認できます。

• 観察例2　IC内部の非破壊観察
  
  
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  • IC内部の透過画像

• リードフレームから伸びているAuワイヤが確認できます。
  実際は中央にシリコンチップが搭載されているのですが、シリコンは軽元素なのでX線が透過してしまい、存在するはずのシリコンチップが見えずにAuワイヤが宙に浮いているように見えます。
  

• 観察例3　ロッカスイッチの接触状態観察
  
  
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  • (a)　スイッチの外観
  
  
  
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  • (b)　ONの状態
  
  
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  • (c)　OFFの状態

• 観察例4　断線しかかっている配線の非破壊検査
  
  
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  • 断線しかかっている配線の透過画像

ご利用を希望される方へ

今回のようなマイクロフォーカスX線検査装置による依頼試験（立会観察）を実施した場合は、下記料金表が適用されます。詳細はお問い合わせください。

試験計測料金

NO.	項目	単位	料金	担当部名
K1720	マイクロフォーカスＸ線検査装置	30分以内	6,930	川崎技術支援部
K1725	マイクロフォーカスＸ線検査装置　追加	追加15分あたり	2,970	川崎技術支援部