分析透過電子顕微鏡（FE-TEM/EDS）

数千倍から数百万倍まで、広範囲の倍率で試料の微細構造観察ができます。EDS分析により数nmの分解能で元素分析が行うことができます。電子線回折や暗視野像からは試料の結晶情報が得られます。

装置

分析透過電子顕微鏡（FE-TEM/EDS）

特徴

・2台のEDSを搭載することで、X線分析の収集効率と精度が格段に向上し、これまでより短時間に詳細な分析が可能です。
・従来のEDS分析では困難であった元素の組み合わせでも最新のピーク分離機能により面分析が可能になりました。
・HAADF-STEM像（高角度散乱暗視野像）での像強度は原子番号の二乗に比例するため、軽い原子と比較して重い原子が選択的に観察できます。

メーカー

株式会社トプコンテクノハウス

型式

EM-002BF

仕様

分解能 0.10nm
観察モード明視野像
暗視野像
高分解能像
STEM像
エネルギー分散型分析装置 サーモフィッシャーサイエンティフィック
NORAN System SIX（検出器2台装備）
最小分析領域0.3nm
分析モード点分析、線分析、面分析
分析対象元素B～U
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  • 担当：川崎技術支援部