精密機械研磨装置（Leica EM-TXP）
EM TXPは光学顕微鏡、SEMおよびTEM用試料の切断・研磨のためのターゲット断面作製装置です。
装置
精密機械研磨装置（Leica EM-TXP）
特徴・精密な加工が可能→最小0.5µmステップで光学顕微鏡により観察を行いながら、機械研磨が可能です。 ・加工の自由度が高い →任意の角度で切断・研削・研磨が可能です。 ・数十～数百µm程度の試料へ対応可能 →旋盤、フライス、湿式研磨等には小さく、FIBでは大きな試料の加工が可能です。 メーカーライカ社型式EM TXP仕様
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- 担当：川崎技術支援部