FE-SEMによる各種解析事例

分析事例（クリックで各分析事例に移動します）

• FE-SEMによる備長炭の形態観察
• FE-SEMによる金属の破断面観察
• FE-SEMによるTiO₂ナノチューブの形態観察
• FE-SEMによる粘着テープの形態観察
• FE-SEMによる金属担持酸化チタンの観察
• FE-SEMによる磁気フィルム表面のSEM観察画像と面分析

FE-SEMによる備長炭の形態観察

• FE-SEM（電界放出型走査電子顕微鏡）による拡大観察をおこなうことで表面の形態がわかります。
  
  ＜使用機器＞　電界放出型走査電子顕微鏡　日立ハイテクノロジーズ　S-4800

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  • 観察倍率300倍
  
  太い孔が「道管」です。根から水を吸い上げるための管で、人間で言えば血管のようなものです。
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  • 観察倍率1,000倍
  
  「道管」の壁面にも孔が確認できます。

• 備長炭は樫を材料とした木炭（狭義には姥目樫）で、硬くて火持ちが良いことが知られています。 割った面を観察してみると、無数の細孔を確認することができ、1g当たり200～300m²（テニスコート1面強）の表面積があると言われております。この非常に大きな表面積により匂いを吸着します。 炭は電気が流れるので、小さく割って試料台に固定すれば観察に供することができるのですが、この表面積の影響で真空引きに時間がかかります。

ご利用を希望される方へ

今回のようなSEM観察を実施した場合は、下記料金表が適用されます。詳細はお問い合わせください。

試験計測料金

NO.	項目	単位	料金	担当部名
K1010	電界放出型走査電子顕微鏡（FE-SEM）　５万倍以下	観察倍率５万倍以下　１条件につき	20,460	川崎技術支援部
K1015	電界放出型走査電子顕微鏡（FE-SEM）　　 ５万倍以下　条件追加	観察倍率５万倍以下　１条件追加につき	4,510	川崎技術支援部

FE-SEMによる金属の破断面観察

• 金属材料の破面（破損した切り口）を観察することで破損の原因を調べることができます。
  ＜使用機器＞　電界放出型走査電子顕微鏡　日立ハイテクノロジーズ　S-4800

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  • 延性破面
  
  金属が破断した際の正常な破面で、結晶組織が引きちぎられて破断する「粒内破壊」の破断面です。多くの窪みが確認できることから「ディンプル模様」とも呼ばれています。
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  • 粒界破面
  
  金属組織の結晶粒界に沿って破壊が進行した場合に見られる破面です。例えば、応力腐食割れの場合はこのような破断面を示します。

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  • 疲労破面
  
  破壊が進んだり止まったりを繰り返していく際に見られる破面で、ストライエーションとも呼ばれます。木の年輪のように見える筋目が破壊の進行を示したものですが、通常の構造部材は破面が小刻みに擦れてしまうためこのような綺麗な模様が残ることは稀です。
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• 金属の破面観察は比較的低倍率で行われます。

ご利用を希望される方へ

今回のようなSEM観察を実施した場合は、下記料金表が適用されます。詳細はお問い合わせください。

試験計測料金

NO.	項目	単位	料金	担当部名
1010	電界放出型走査電子顕微鏡（FE-SEM）　５万倍以下	観察倍率５万倍以下　１条件につき	20,460	川崎技術支援部
1015	電界放出型走査電子顕微鏡（FE-SEM）　　 ５万倍以下　条件追加	観察倍率５万倍以下　１条件追加につき	4,510	川崎技術支援部

FE-SEMによるTiO₂ナノチューブの形態観察

• FE-SEMによる拡大観察はとても微細な構造を見ることができます。今回は作製方法の異なる2種類のTiO₂ナノチューブの形態観察をおこないました。
  
  ＜使用機器＞　電界放出型走査電子顕微鏡　日立ハイテクノロジーズ　S-4800

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  • 試料1　観察倍率20,000倍
  
  細い管がびっしり並んでいる様子がわかります
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  • 試料1　観察倍率300,000倍
  
  管の直径が数十nmであることがわかります

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  • 試料2　観察倍率1,500倍
  
  こちらは繊維のように見えます
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  • 試料2　観察倍率100,000倍
  
  管というより棒のように見えます

ご利用を希望される方へ

今回のような10万倍を超えるSEM観察を実施した場合は、下記料金表が適用されます。詳細はお問い合わせください。

試験計測料金

NO.	項目	単位	料金	担当部名
K1010	電界放出型走査電子顕微鏡（FE-SEM）　５万倍以下	観察倍率５万倍以下　１条件につき	20,460	川崎技術支援部
K1015	電界放出型走査電子顕微鏡（FE-SEM）　　 ５万倍以下　条件追加	観察倍率５万倍以下　１条件追加につき	4,510	川崎技術支援部
K1030	電界放出型走査電子顕微鏡（FE-SEM）　　 10万倍を超えるもの	観察倍率10万倍を超えるもの　１条件につき	52,250	川崎技術支援部
K1035	電界放出型走査電子顕微鏡（FE-SEM）　　 10万倍を超えるもの　条件追加	観察倍率10万倍を超えるもの　１条件追加につき	14,740	川崎技術支援部

FE-SEMによる端子の断面観察

• 精密機械研磨、イオンミリング装置による前処理を施した端子断面をFE-SEMで観察することで内部の構造を鮮明に見ることができます。
  
  ＜使用機器＞　電界放出型走査電子顕微鏡　日本電子 JSM-7800F Prime
  
  イオンによる研磨は試料に与えるダメージが少なく、金めっきのように軟らかい素材でも鮮明に観察することができます。
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  • イオンミリング装置による前処理を施した端子断面

ご利用を希望される方へ

このような断面解析を実施した場合、下記料金項目が適用されます。詳細はお問い合わせください。

試験計測料金

NO.	項目	単位	料金	担当部名
K1310	高分解能分析走査電子顕微鏡 （FE-SEM/EDS）　SEM観察　５万倍以下	観察倍率５万倍以下　１試料１視野観察につき	20,350	川崎技術支援部 E0011
K1315	高分解能分析走査電子顕微鏡 （FE-SEM/EDS）　SEM観察　５万倍以下１視野追加	観察倍率５万倍以下　同一試料において１視野追加観察につき	4,510	川崎技術支援部 E0012
K4120	試料前処理（切断、導電処理等）	処理時間30分につき	1,650	川崎技術支援部
K4212	精密機械研磨法　B：標準的な試料	１試料につき	22,550	川崎技術支援部
K4220	試料の撮影	１試料１視野につき	2,310	川崎技術支援部
K4232	断面イオンミリング法　（小さい試料用）　　B：標準的な試料	１試料につき	44,440	川崎技術支援部

FE-SEMによる粘着テープの形態観察

• 低真空モード（通常の観察条件よりも真空度を下げる＝より大気圧に近い状態）での観察により、有機物を無蒸着で容易に観察することができます。
  
  ＜使用機器＞　電界放出型走査電子顕微鏡　日本電子 JSM-7800F Prime
  
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  • 文房具の粘着テープを観察した画像で、球状に見えるのが糊です。

ご利用を希望される方へ

今回のような低真空モードを含むSEM観察実施した場合は、下記料金表が適用されます。詳細はお問い合わせください。

試験計測料金

NO.	項目	単位	料金	担当部名
K1310	高分解能分析走査電子顕微鏡 （FE-SEM/EDS）　SEM観察　５万倍以下	観察倍率５万倍以下　１試料１視野観察につき	20,350	川崎技術支援部 E0011
K1315	高分解能分析走査電子顕微鏡 （FE-SEM/EDS）　SEM観察　５万倍以下１視野追加	観察倍率５万倍以下　同一試料において１視野追加観察につき	4,510	川崎技術支援部 E0012
K1342	高分解能分析走査電子顕微鏡 （FE-SEM/EDS）　SEM観察　低真空モード	低真空モードの使用	11,220	川崎技術支援部

FE-SEMによる金属担持酸化チタンの観察

• 反射電子（BSE: Backscattered electron）による観察をおこなうと、成分の違いをコントラストで見ることができます。
  
  ＜使用機器＞　電界放出型走査電子顕微鏡　日本電子 JSM-7800F Prime
  
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  • 表面に白金を担持した酸化チタン焼結体の画像
    チタンよりも原子番号の大きい白金はより明るく（白く）見えます

ご利用を希望される方へ

今回のような反射電子像による観察を実施した場合は、下記料金表が適用されます。詳細は、ご相談願います。

試験計測料金

NO.	項目	単位	料金	担当部名
K1310	高分解能分析走査電子顕微鏡 （FE-SEM/EDS）　SEM観察　５万倍以下	観察倍率５万倍以下　１試料１視野観察につき	20,350	川崎技術支援部 E0011
K1315	高分解能分析走査電子顕微鏡 （FE-SEM/EDS）　SEM観察　５万倍以下１視野追加	観察倍率５万倍以下　同一試料において１視野追加観察につき	4,510	川崎技術支援部 E0012

FE-SEMによる磁気フィルム表面のSEM観察画像と面分析

• EDS（エネルギー分散型X線分析装置）の面分析機能を使用するとどの成分が何処にあるのかが解ります。
  ＜使用機器＞　電界放出型走査電子顕微鏡　日本電子 JSM-7800F Prime
  　　　　　　　エネルギー分散型X線分析装置　サーモフィッシャーサイエンティフィック　NORAN System 7
  

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  • 磁気フィルム表面のSEM画像
    観察倍率50,000倍
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  • EDSによる面分析（マッピング）結果
    赤：C, 青：Pt, 緑：Al, 黄：Fe, ピンク：Si

• 磁気フィルム表面においてSEM観察とEDS面分析を行った結果です。
  面分析は、どの成分が何処にあるのかが判るため付着物の解析や分布に偏りがある場合に有効です。
  SEM/EDSは電子ビームをスキャンしながら分析データを取り込めるので、このように位置情報と合わせることが可能です。
  この他、点分析や線分析、精度は若干低いですが定量分析も可能です。

ご利用を希望される方へ

今回のようなSEM観察とEDS面分析を実施した場合は、下記料金表が適用されます。詳細はお問い合わせください。

試験計測料金

NO.	項目	単位	料金	担当部名
K1310	高分解能分析走査電子顕微鏡 （FE-SEM/EDS）　SEM観察　５万倍以下	観察倍率５万倍以下　１試料１視野観察につき	20,350	川崎技術支援部 E0011
K1354	高分解能分析FE-SEM　エネルギー分散型Ｘ線分析装置（EDS）　面分析	面分析１視野につき	33,880	川崎技術支援部