イオンミリングを活用した共晶ハンダの断面SEM観察事例
- 共晶ハンダの内部構造を調べるため、クライオイオンミリングにて作製した断面のSEM観察を行いました。
＜試料＞
Sn-Pb共晶ハンダ
＜使用機器＞
電界放出型走査電子顕微鏡（FE-SEM）
断面試料作製用イオンミリング装置
- 図1 断面イオンミリングを行ったSn-Pb共晶ハンダのSEM像
（サンプル冷却有無での仕上げの比較）
冷却なしではPbの界面が溶融化し、本来の解析が不可能となっています。
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- 担当：川崎技術支援部