- 金めっき上に確認された異常部の原因について、FIB-SEMを用いて調査しました。
＜試料＞
試料：Auめっき/Niめっき/Cu母材
＜使用機器＞
集束イオンビーム装置（FIB-SEM/EDS）
- めっき異常部の表面観察&分析
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- 図1 左) 異常部のSEM像、右) 異常部のEDS点分析結果
→内部を観察するため、FIB断面加工へ
- めっき異常部の断面加工
FIB-SEMにより断面を作製
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- 図2 FIB加工による異常部の断面加工
- めっき異常部断面のSEM観察
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- 図3 めっき異常部断面のSEM像
・付着物ではなく、内部から噴出した腐食生成物？
・金めっきに無数のボイドあり
- めっき異常部の断面の元素分析（面分析）
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- 図4 めっき異常部断面のEDS面分析結果
NiとAu界面にClを含むNi酸化物が存在
- めっきの異常部解析
～結果～
・異常部は付着物ではなく、めっき内部から噴出
・Auめっきに無数のボイドが存在
・Au/Ni界面にClを含むNi酸化物が存在
～推定原因～
・Auめっき前の洗浄不足によりClが残留？
・Auめっきのボイドから下地(Ni)へOが供給
→異常部は腐食生成物がめっき表面に形成したもの
