マイクロカンチレバーの作製・測定事例

  • マイクロカンチレバー※を作製し、その試験片を用いて、材料表面（微小領域）の強度測定を行えます。

    ※マイクロカンチレバー法 とは？
    　幅と高さが数µm程度の五角形の断面形状を有する片持ち試験片（マイクロカンチレバー）をFIBで作製し、試験片の端にナノインデンターで荷重を印加して破壊試験を実施します。
    破壊荷重と試験片の寸法から強度や破壊靭性などの機械的特性を測定する手法です。
    　試験片が非常に小さいため、バルク体中の粒子や粒界、表面処理層、腐食部 といった局所領域の機械的特性を測定できる点が最大の特徴です。


    ＜使用機器＞
    集束イオンビーム装置（FIB-SEM）
    ナノインデンター

  • ＜評価法の比較＞




  • ＜作製例＞




  • ＜測定例＞
    化学強化ガラス※の表面近傍の強度測定
    ※ガラス表面においてNa+がK+に置換されることにより、圧縮応力層が形成される。



    マイクロカンチレバー法では『面内のヤング率』を測定しているため、圧縮応力層のみの強度測定が可能。




  • ＜測定実績＞
    ・セラミックス粒界＆粒内の破壊靱性測定
    ・表面コート膜の曲げ強度測定
    ・異種材料接合界面の破壊靱性測定
  • この装置・試験等に関連するお問い合わせ
  • 担当：川崎技術支援部