FIB-マイクロサンプリング法によるTEM試料作製事例

透過電子顕微鏡（TEM）の観察は、観察対象とするサンプルを約100nm以下の厚さに加工しなければ電子が透過しないことから、観察、分析をすることができません。
集束イオンビーム装置（FIB）で観察対象を薄片化することにより、TEM試料を作製することができます。また、局所箇所をピンポイントで加工することも可能です。
＜使用機器＞　集束イオンビーム装置（FIB）
＜納　　期＞　担当職員にお問い合わせください。
＜マイクロサンプリング法　加工例＞

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ご利用を希望される方へ

今回のような集束イオンビーム装置（FIB）での加工、さらに、FIBでの試料作製に付随する低倍率での確認作業を実施した場合は、下記料金表が適用されます。詳細はお問い合わせください。

試験計測料金

NO.	項目	単位	料金	担当部名
K1625	TEM試料調製　FIB-マイクロプロービング法 低加速ガリウムイオン	低加速ガリウムイオン仕上げ　１試料につき	111,980	川崎技術支援部
K1440	電界放出型分析透過電子顕微鏡（FE-TEM）10万倍以下	倍率　10万倍以下　１視野につき	17,710	川崎技術支援部