透明導電膜のTEM観察事例

単結晶基板上に作製した透明導電膜の結晶性や析出物の有無などを断面方向から観察し、薄膜の構造を明らかにしました。
通常のTEM観察より薄片化しなければ、高分解能観察ができないことから、低エネルギーイオンミリングを使用。

＜使用機器＞
分析透過電子顕微鏡（FE-TEM/EDS）
集束イオンビーム装置（FIB）
低エネルギーイオンミリング装置（Gentle Mill）

＜作業工程＞
FIB-マイクロプロービング法による試料作製　　→　　低エネルギーイオンミリング　　→　　TEM観察

＜納期＞
担当職員にお問い合わせください。

＜測定例＞

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ご利用を希望される方へ

今回のようなFE-TEM（分析透過電子顕微鏡）による透明導電膜の解析を実施した場合は、下記料金表が適用されます。
観察条件および撮影枚数により費用は変わりますので、詳細は担当職員にお問い合わせください。
ご要望に応じて見積書を作成いたします。

試験計測料金

NO.	項目	単位	料金	担当部名
K1625	TEM試料調製　FIB-マイクロプロービング法 低加速ガリウムイオン	低加速ガリウムイオン仕上げ　１試料につき	111,980	川崎技術支援部
K1425	TEM試料調製　低エネルギーイオンミリング　（ジェントルミル）	１試料１条件につき	13,530	川崎技術支援部
K1440	電界放出型分析透過電子顕微鏡（FE-TEM）10万倍以下	倍率　10万倍以下　１視野につき	17,710	川崎技術支援部
K1445	電界放出型分析透過電子顕微鏡（FE-TEM）10万倍以下 １視野増	倍率　10万倍以下　１視野増すごとに	8,800	川崎技術支援部
K1441	電界放出型分析透過電子顕微鏡（FE-TEM）10万倍を超えて50万倍以下	倍率　10万倍を超えて50万倍以下　１視野につき	23,430	川崎技術支援部
K1446	電界放出型分析透過電子顕微鏡（FE-TEM）10万倍を超えて50万倍以下 １視野増	倍率　10万倍を超えて50万倍以下　１視野増すごとに	13,310	川崎技術支援部
K1450	電界放出型分析透過電子顕微鏡（FE-TEM）50万倍を超えて200万倍以下	倍率　 50万倍を超えて200万倍以下　１視野につき	32,340	川崎技術支援部
K1455	電界放出型分析透過電子顕微鏡（FE-TEM）50万倍を超えて200万倍以下 １視野増	倍率　 50万倍を超えて200万倍以下　１視野増すごとに	17,710	川崎技術支援部
K1451	電界放出型分析透過電子顕微鏡（FE-TEM）200万倍を超えるもの	倍率　200万倍を超えるもの　１視野につき	46,860	川崎技術支援部
K1456	電界放出型分析透過電子顕微鏡（FE-TEM）200万倍を超えるもの １視野増	倍率　200万倍を超えるもの　１視野増すごとに	27,830	川崎技術支援部
K1460	電界放出型分析透過電子顕微鏡（FE-TEM）試料傾斜調整	試料傾斜調整　１条件ごとに	12,210	川崎技術支援部