スピンコーター
【用途・特徴】
フォトリソグラフィ工程におけるレジスト等の塗布(スピンコート)
フォトリソグラフィ工程におけるレジスト等の塗布(スピンコート)
メーカー名
ミカサ株式会社型番
本体1H-DX2型仕様
試料ホルダ4インチ角、3インチ○、2インチ○、10ミリ角/設置環境 クリーンルーム(クラス1,000)、イエロールーム、有機溶剤用ドラフト内ご利用方法
試験計測(依頼試験)、技術開発受託(受託研究)で利用できます料金について
■ 試験計測(依頼試験)料金
料金についてはお問い合わせください。
高精度フォトリソグラフィ
料金NO. | 項目 | 単位 | 料金 | 担当部名 |
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E1191 | 高精度フォトリソグラフィ | 1枚につき | 26,070円 | 電子技術部 |
E1192 | 高精度フォトリソグラフィ 1枚増 | 1枚増すごとに | 9,460円 | 電子技術部 |
導入年度
平成9年度- この装置に関連するお問い合わせ
- 担当:電子技術部 電子材料グループ