微小部X線光電子分光分析装置
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本装置 は、試料にＸ線を照射し、試料表面から放出される光電子のエネルギーを測定することにより、表面の組成並びに化学結合状態に関する情報を得る装置です。
【用途・特徴】
ロボットの関節に使う摩擦摩耗特性に優れた摺動材、効率の良い燃料電池やリチウム電池電極、生体適合性の高い材料の開発を支援します。
プラスチック材料・セラミック材料・金属製品の表面の変色、腐食などの不具合を分析することにより、故障解析を行います。
・最小ビーム径: 10μm以下
・最高エネルギー分解能: 0.5eV以下 (Ag3d 5/2)
・最大感度: 1000000cps (Ag3d 5/2 の半値幅 1.0eVのとき)
・到達圧力: 6.7×10-8Pa以下
・オプション: 加熱冷却ステージ
【用途・特徴】
ロボットの関節に使う摩擦摩耗特性に優れた摺動材、効率の良い燃料電池やリチウム電池電極、生体適合性の高い材料の開発を支援します。
プラスチック材料・セラミック材料・金属製品の表面の変色、腐食などの不具合を分析することにより、故障解析を行います。
・最小ビーム径: 10μm以下
・最高エネルギー分解能: 0.5eV以下 (Ag3d 5/2)
・最大感度: 1000000cps (Ag3d 5/2 の半値幅 1.0eVのとき)
・到達圧力: 6.7×10-8Pa以下
・オプション: 加熱冷却ステージ
メーカー名
アルバック・ファイ株式会社型番
VersaProbeⅡご利用方法
試験計測（依頼試験）、技術開発受託（受託研究）で利用できます料金について
■ 試験計測（依頼試験）料金
微小部X線光電子分光分析
| 料金NO. | 項目 | 単位 | 料金 | 担当部名 |
|---|---|---|---|---|
| E1980 | 微小部X線光電子分光分析 （ワイドスキャンのみ） | １試料１ヶ所につき | 14,410円 | 機械・材料技術部 |
| E1982 | 微小部X線光電子分光分析 （ワイドおよびナロースキャン） | １試料１ヶ所につき（６元素まで） | 21,450円 | 機械・材料技術部 |
| E1984 | 微小部X線光電子分光分析（面分析，線分析） | １試料１ヶ所につき（５元素まで） | 22,440円 | 機械・材料技術部 |
| E1986 | 微小部X線光電子分光分析（深さ方向分析） | １試料１ヶ所につき（６元素まで） | 33,880円 | 機械・材料技術部 |
| E1990 | 微小部X線光電子分光分析 条件増 | １条件増すごとに | 5,280円 | 機械・材料技術部 |
| E1992 | 微小部X線光電子分光分析 元素増（１） | １元素増すごとに（E1982,E1984に適用） | 4,510円 | 機械・材料技術部 |
| E1994 | 微小部X線光電子分光分析 元素増（２） | １元素増すごとに（E1986に適用） | 6,710円 | 機械・材料技術部 |
導入年度
平成25年度- この装置に関連するお問い合わせ
- 担当：機械・材料技術部 解析評価グループ