高温小型真空雰囲気炉


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【用途・特徴】
シリコンや炭化ケイ素（SiC）の半導体用の専用熱処理炉です。
真空、不活性ガス（Arガス）雰囲気で熱処理可能です。

メーカー名

株式会社ナガノ

型番

NEWTONIAMPASCAL40

仕様

使用可能温度：～1800℃／
雰囲気：　真空中／Ar雰囲気中
試料寸法：φ35㎜以下、
高さ35mm以下

ご利用方法

機器使用で利用できます

料金について

■ 機器使用料金 （特に表記のない場合は、1時間当たりの料金となります。）

料金NO.設備機器名メーカー・型式使用料担当部名
E6760高温小型真空雰囲気炉ナガノ　NEWTONIAN PASCAL405,940円電子技術部

導入年度

平成4年度
  • この装置に関連するお問い合わせ
  • 担当：電子技術部　電子材料グループ