レーザーマーカー
- クリックで拡大します -
レーザーマーカーは試料表面をCCDカメラで拡大観察しながら、細く絞ったレーザー光を照射し、任意の場所へ簡単にマーキングできる装置です。集束イオンビーム装置（FIB）や走査電子顕微鏡（SEM）の電子像では確認が困難であった変色部位などの特定に、そのマーキング機能は威力を発揮します。
微細加工時の位置確認用マーキングや、多層薄膜基板の表面薄膜除去などにも活用できます。
微細加工時の位置確認用マーキングや、多層薄膜基板の表面薄膜除去などにも活用できます。
メーカー名
HOYA CANDEO OPTRONICS㈱社型番
LR2100ST仕様
| レーザー波長 | 532nmと355nmの2種類（切替式） |
|---|---|
| 照射ビーム寸法 | 1μm角～150μm角 |
| 対物レンズ | 10×（観察用）、20×、50×、100× |
ご利用方法
試験計測（依頼試験）、機器使用で利用できます料金について
■ 試験計測（依頼試験）料金
料金についてはお問い合わせください。
レーザーマーキング
| 料金NO. | 項目 | 単位 | 料金 | 担当部名 |
|---|---|---|---|---|
| K1630 | レーザーマーキング | 15分以内 | 4,950円 | 川崎技術支援部 |
| K1635 | レーザーマーキング 追加 | 追加15分あたり | 3,960円 | 川崎技術支援部 |
■ 機器使用料金 （特に表記のない場合は、1時間当たりの料金となります。）
| 料金NO. | 設備機器名 | メーカー・型式 | 使用料 | 担当部名 |
|---|---|---|---|---|
| K2635 | レーザーマーカ LR2100ST（30分あたり） | HOYA LR2100ST | 2,860円 | 川崎技術支援部 |
導入年度
平成19年度- この装置に関連するお問い合わせ
- 担当：川崎技術支援部 微細構造解析グループ
- その他の技術相談はこちらから