レーザーマーカー


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レーザーマーカーは試料表面をCCDカメラで拡大観察しながら、細く絞ったレーザー光を照射し、任意の場所へ簡単にマーキングできる装置です。集束イオンビーム装置(FIB)や走査電子顕微鏡(SEM)の電子像では確認が困難であった変色部位などの特定に、そのマーキング機能は威力を発揮します。

微細加工時の位置確認用マーキングや、多層薄膜基板の表面薄膜除去などにも活用できます。

メーカー名

HOYA CANDEO OPTRONICS㈱社

型番

LR2100ST

仕様

レーザー波長532nmと355nmの2種類(切替式)
照射ビーム寸法
1μm角~150μm角
対物レンズ
10×(観察用)、20×、50×、100×

ご利用方法

試験計測(依頼試験)機器使用で利用できます

料金について

令和6年4月1日に試験計測等料金が改訂されました。新料金表示の対応が完了するまではPDFファイル(試験計測等料金表(1MB))をご確認ください。

■ 試験計測(依頼試験)料金

料金についてはお問い合わせください。

レーザーマーキング

料金NO.項目単位料金担当部名
K1630レーザーマーキング15分以内4,950円川崎技術支援部
K1635レーザーマーキング 追加追加15分あたり4,070円川崎技術支援部

■ 機器使用料金 (特に表記のない場合は、1時間当たりの料金となります。)

料金NO.設備機器名メーカー・型式使用料担当部名
K2635レーザーマーカ LR2100ST(30分あたり)HOYA LR2100ST2,860円川崎技術支援部

導入年度

平成19年度
  • この装置に関連するお問い合わせ
  • 担当:川崎技術支援部 微細構造解析グループ