走査型X線光電子分光分析装置(µ-XPS・µ-ESCA)
試料表面の極薄い層(数nm)の元素分析(水素、ヘリウム以外)、半定量分析(検出限界~0.1at%程度)および化学結合状態分析ができます。
金属や半導体、酸化物、セラミックス、有機物などの絶縁物試料等、あらゆる固体が対象です。
【用途・特徴】
ビーム径9µm~200µmでの微小部分析。
試料最表面の元素分析、化学結合状態分析。
-応用例-
薄膜、多層膜分析。
物質表面の変色、汚染、付着分析。
電子材料の不具合分析。
目視、顕微鏡では確認できない汚染物分析。
表面処理、ぬれ性など表面改質分析。
腐食、接合などのトラブル解析。
用途
♣ 目視、顕微鏡では確認できない表面の汚染、吸着、付着物分析
♣ 表面改質評価
♣ 金属薄膜の組成、化学結合状態の評価
♣ 物質表面のしみ、変色分析
♣ 電子材料の故障解析
金属や半導体、酸化物、セラミックス、有機物などの絶縁物試料等、あらゆる固体が対象です。
【用途・特徴】
ビーム径9µm~200µmでの微小部分析。
試料最表面の元素分析、化学結合状態分析。
-応用例-
薄膜、多層膜分析。
物質表面の変色、汚染、付着分析。
電子材料の不具合分析。
目視、顕微鏡では確認できない汚染物分析。
表面処理、ぬれ性など表面改質分析。
腐食、接合などのトラブル解析。
用途
♣ 目視、顕微鏡では確認できない表面の汚染、吸着、付着物分析
♣ 表面改質評価
♣ 金属薄膜の組成、化学結合状態の評価
♣ 物質表面のしみ、変色分析
♣ 電子材料の故障解析
メーカー名
アルバック・ファイ株式会社型番
Quantera SXM仕様
• X線源 : Al KaモノクロX線・ X線ビーム径 : 分析可能最小ビーム径:9µm
・ 試料サイズ : W70×D70×H18mm 以下
・ その他 : Arイオン銃、中和銃
ご利用方法
試験計測(依頼試験)、技術開発受託(受託研究)で利用できます料金について
■ 試験計測(依頼試験)料金
X線光電子分光分析(XPS) 表面分析(ワイドスキャンのみ)
料金NO. | 項目 | 単位 | 料金 | 担当部名 |
---|---|---|---|---|
K5002 | X線光電子分光分析(XPS) 表面分析(ワイドスキャンのみ) | 1試料1ヶ所につき(ワイドスキャンのみ) | 26,950円 | 川崎技術支援部 |
K5005 | X線光電子分光分析(XPS) 表面分析(ワイドスキャンのみ 追加試料) | 追加1試料1ヶ所につき(ワイドスキャンのみ) | 21,120円 | 川崎技術支援部 |
K5007 | X線光電子分光分析(XPS) 表面分析(ワイドスキャンのみ 条件増) | 1条件増すごとに(ワイドスキャンのみ) | 5,610円 | 川崎技術支援部 |
X線光電子分光分析(XPS) 表面分析(ワイドおよびナロースキャン)
料金NO. | 項目 | 単位 | 料金 | 担当部名 |
---|---|---|---|---|
K5011 | X線光電子分光分析(XPS) 表面分析(ワイドおよびナロースキャン) | 1試料1条件につき(ワイドおよびナロースキャン) | 48,180円 | 川崎技術支援部 |
K5012 | X線光電子分光分析(XPS) 表面分析(ワイドおよびナロースキャン 条件増) | 1条件増すごとに(面分析、状態分析加算等) | 11,110円 | 川崎技術支援部 |
X線光電子分光分析(XPS) 深さ方向分析
料金NO. | 項目 | 単位 | 料金 | 担当部名 |
---|---|---|---|---|
K5010 | X線光電子分光分析(XPS) 深さ方向分析 | 1試料1条件につき(主成分のみ、深さ0.2μmまで) | 83,600円 | 川崎技術支援部 |
K5015 | X線光電子分光分析(XPS) 深さ方向分析 条件増 | 1条件増すごとに | 11,110円 | 川崎技術支援部 |
導入年度
平成22年度- この装置に関連するお問い合わせ
- 担当:川崎技術支援部 材料解析グループ