走査型X線光電子分光分析装置（µ-XPS・µ-ESCA）
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試料表面の極薄い層（数nm）の元素分析（水素、ヘリウム以外）、半定量分析（検出限界～0.1at%程度）および化学結合状態分析ができます。
金属や半導体、酸化物、セラミックス、有機物などの絶縁物試料等、あらゆる固体が対象です。
【用途・特徴】
ビーム径9µm～200µmでの微小部分析。
試料最表面の元素分析、化学結合状態分析。
－応用例－
薄膜、多層膜分析。
物質表面の変色、汚染、付着分析。
電子材料の不具合分析。
目視、顕微鏡では確認できない汚染物分析。
表面処理、ぬれ性など表面改質分析。
腐食、接合などのトラブル解析。
用途
♣ 目視、顕微鏡では確認できない表面の汚染、吸着、付着物分析
♣ 表面改質評価
♣ 金属薄膜の組成、化学結合状態の評価
♣ 物質表面のしみ、変色分析
♣ 電子材料の故障解析
金属や半導体、酸化物、セラミックス、有機物などの絶縁物試料等、あらゆる固体が対象です。
【用途・特徴】
ビーム径9µm～200µmでの微小部分析。
試料最表面の元素分析、化学結合状態分析。
－応用例－
薄膜、多層膜分析。
物質表面の変色、汚染、付着分析。
電子材料の不具合分析。
目視、顕微鏡では確認できない汚染物分析。
表面処理、ぬれ性など表面改質分析。
腐食、接合などのトラブル解析。
用途
♣ 目視、顕微鏡では確認できない表面の汚染、吸着、付着物分析
♣ 表面改質評価
♣ 金属薄膜の組成、化学結合状態の評価
♣ 物質表面のしみ、変色分析
♣ 電子材料の故障解析
メーカー名
アルバック・ファイ株式会社型番
Quantera SXM仕様
• Ｘ線源 ： Al KaモノクロＸ線・ Ｘ線ビーム径 ： 分析可能最小ビーム径：9µm
・ 試料サイズ ： W70×D70×H18mm 以下
・ その他 ： Arイオン銃、中和銃
ご利用方法
試験計測（依頼試験）、技術開発受託（受託研究）で利用できます料金について
■ 試験計測（依頼試験）料金
Ｘ線光電子分光分析（XPS） 表面分析（ワイドスキャンのみ）
| 料金NO. | 項目 | 単位 | 料金 | 担当部名 |
|---|---|---|---|---|
| K5002 | Ｘ線光電子分光分析（XPS） 表面分析（ワイドスキャンのみ） | １試料１ヶ所につき（ワイドスキャンのみ） | 26,950円 | 川崎技術支援部 |
| K5005 | Ｘ線光電子分光分析（XPS） 表面分析（ワイドスキャンのみ 追加試料） | 追加１試料１ヶ所につき（ワイドスキャンのみ） | 21,120円 | 川崎技術支援部 |
| K5007 | Ｘ線光電子分光分析（XPS） 表面分析（ワイドスキャンのみ 条件増） | １条件増すごとに（ワイドスキャンのみ） | 5,610円 | 川崎技術支援部 |
Ｘ線光電子分光分析（XPS） 表面分析（ワイドおよびナロースキャン）
| 料金NO. | 項目 | 単位 | 料金 | 担当部名 |
|---|---|---|---|---|
| K5011 | Ｘ線光電子分光分析（XPS） 表面分析（ワイドおよびナロースキャン） | １試料１条件につき（ワイドおよびナロースキャン） | 48,180円 | 川崎技術支援部 |
| K5012 | Ｘ線光電子分光分析（XPS） 表面分析（ワイドおよびナロースキャン 条件増） | １条件増すごとに（面分析、状態分析加算等） | 11,110円 | 川崎技術支援部 |
Ｘ線光電子分光分析（XPS） 深さ方向分析
| 料金NO. | 項目 | 単位 | 料金 | 担当部名 |
|---|---|---|---|---|
| K5010 | Ｘ線光電子分光分析（XPS） 深さ方向分析 | １試料１条件につき（主成分のみ、深さ0.2μmまで） | 83,600円 | 川崎技術支援部 |
| K5015 | Ｘ線光電子分光分析（XPS） 深さ方向分析 条件増 | １条件増すごとに | 11,110円 | 川崎技術支援部 |
導入年度
平成22年度- この装置に関連するお問い合わせ
- 担当：川崎技術支援部 材料解析グループ