低エネルギーイオンミリング（ジェントルミル）


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透過電子顕微鏡（TEM）サンプルのダメージ層除去ならびに薄片化の専用装置です。TEMサンプルがダメージ層に覆われて観察しにくい、厚いため電子線が透過しにくいときなどに、アルゴンイオンビームを照射することで、より良いTEMサンプルを作製することができます。

【用途・特徴】
極低加速エネルギー(100eV～2keV)のアルゴンスパッタリングによって、イオンミリング装置やFIBで作成したTEMやSEM試料の最表面ダメージ層の除去

メーカー名

リンダ社

型番

Model Ⅳ5

ご利用方法

試験計測（依頼試験）、機器使用、技術開発受託（受託研究）で利用できます

料金について

■ 試験計測（依頼試験）料金

料金についてはお問い合わせください。

低エネルギーイオンミリング（ジェントルミル）

料金NO.項目単位料金担当部名
K4180低エネルギーイオンミリング（ジェントルミル）１試料１条件につき14,850円川崎技術支援部

■ 機器使用料金 （特に表記のない場合は、1時間当たりの料金となります。）

料金NO.設備機器名メーカー・型式使用料担当部名
K2425低エネルギーイオン研磨装置　Model IV5（ジェントルミル）　（１時間あたり）リンダ社 Model IV5（ジェントルミル）12,100円川崎技術支援部

※低エネルギーイオンミリング（ジェントルミル）のみのご利用を希望された場合にも、サンプルの状態確認のためのTEM観察（10万倍以下）料金が加算されます。

導入年度

平成24年度
  • この装置に関連するお問い合わせ
  • 担当：川崎技術支援部　微細構造解析グループ