マルチ解析用集束イオンビーム装置（FIB-SEM/EDS/EBSD）
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最新のFIB-SEMです。局所領域の断面加工と観察、TEM試料作製、三次元解析を行うことが可能です。本装置は高性能電子光学系を有したSEMを搭載しているため、金属、セラミックス、有機物など様々な試料から多様な情報を得ることができます。元素分析装置(EDS)、結晶方位解析装置(EBSD)も搭載しており、多角的な解析が可能です。
メーカー名
日本エフイー・アイ株式会社型番
Scios LoVacシステム仕様
| SEM分解能 | 1.0nm（15kV）、1.6nm（1kV） |
|---|---|
| 検出器 | 二次電子検出器、反射電子検出器 |
| 推奨試料サイズ | 最大30mm径×10mm程度 |
| FIB分解能 | 5nm |
| EDS | X-MaxN 150ｍｍ2（Oxford製） |
| 分析モード | 点分析、線分析、面分析 |
| 分析対象元素 | B～U |
| その他 | 低真空観察（10～50Pa） |
ご利用方法
試験計測（依頼試験）、機器使用で利用できます料金について
■ 試験計測（依頼試験）料金
料金についてはお問い合わせください。
マルチ解析用集束イオンビーム装置（FIB-SEM/EDS/EBSD）
| 料金NO. | 項目 | 単位 | 料金 | 担当部名 |
|---|---|---|---|---|
| K1940 | マルチ解析用集束イオンビーム装置（FIB） | １時間以内 | 33,330円 | 川崎技術支援部 |
| K1941 | マルチ解析用集束イオンビーム装置（FIB） 追加 | 追加１時間あたり | 28,820円 | 川崎技術支援部 |
| K1942 | マルチ解析用集束イオンビーム装置（FIB）（連続自動加工） | 追加１時間あたり （ただし、設定可能なものに限る） | 16,500円 | 川崎技術支援部 |
| K1950 | マルチ解析用FIBオプション カーボン膜デポジション | 10分あたり | 2,310円 | 川崎技術支援部 |
| K1951 | マルチ解析用FIBオプション プラチナ膜デポジション | 10分あたり | 2,200円 | 川崎技術支援部 |
| K1955 | マルチ解析用FIBオプション Easy Lift | １時間あたり | 17,930円 | 川崎技術支援部 |
| K1960 | マルチ解析用FIB付属のSEM | １試料１視野観察につき | 20,130円 | 川崎技術支援部 |
| K1961 | マルチ解析用FIB付属のSEM 視野追加 | 同一試料において１視野追加観察につき | 4,510円 | 川崎技術支援部 |
| K1962 | マルチ解析用FIB付属のSEM 条件追加 | 同一試料において１条件追加につき | 4,510円 | 川崎技術支援部 |
| K1965 | マルチ解析用FIB付属のSEMオプション 低真空 | 低真空モードの使用 | 11,110円 | 川崎技術支援部 |
| K1970 | マルチ解析用FIB付属のSEMオプション EDS分析測定 点分析 | 点分析１視野１箇所につき | 16,610円 | 川崎技術支援部 |
| K1971 | マルチ解析用FIB付属のSEMオプション EDS分析測定 点分析追加 | 点分析同一視野内で１箇所追加につき | 5,610円 | 川崎技術支援部 |
| K1974 | マルチ解析用FIB付属のSEMオプション EDS分析測定 線分析 | 線分析１視野１箇所につき | 22,220円 | 川崎技術支援部 |
| K1975 | マルチ解析用FIB付属のSEMオプション EDS分析測定 線分析追加 | 線分析同一視野内で１箇所追加につき | 8,470円 | 川崎技術支援部 |
| K1976 | マルチ解析用FIB付属のSEMオプション EDS分析測定 面分析 | 面分析１視野につき | 33,440円 | 川崎技術支援部 |
| K1978 | マルチ解析用FIB付属のSEMオプション EDS分析測定 各種データ処理 | 各種データ処理１条件につき | 5,720円 | 川崎技術支援部 |
| K1980 | マルチ解析用FIB付属のSEMオプション EBSD分析測定 結晶方位マップ | 結晶方位マップ１視野につき | 45,430円 | 川崎技術支援部 |
| K1981 | マルチ解析用FIB付属のSEMオプション EBSD分析測定 視野追加 | 同一試料で１視野追加につき | 11,110円 | 川崎技術支援部 |
| K1984 | マルチ解析用FIB付属のSEMオプション EBSD分析測定 条件追加 | １条件追加につき | 11,110円 | 川崎技術支援部 |
| K1985 | マルチ解析用FIB付属のSEMオプション EBSD分析測定 各種データ処理 | 各種データ処理１条件につき | 5,720円 | 川崎技術支援部 |
| K1990 | マルチ解析用FIB-SEMによる三次元再構築用連続断面画像の取得 | １測定につき | 110,660円 | 川崎技術支援部 |
| K1995 | マルチ解析用FIB-SEMによる三次元再構築用連続断面画像の取得 条件追加 | １条件追加につき | 11,110円 | 川崎技術支援部 |
マルチ解析用FIB-SEMによる微小試験片の作製
| 料金NO. | 項目 | 単位 | 料金 | 担当部名 |
|---|---|---|---|---|
| K1930 | マルチ解析用FIB-SEMによる微小試験片の作製 標準 | 標準的な作製（SEM観察含む）５本につき | 177,100円 | 川崎技術支援部 |
| K1932 | マルチ解析用FIB-SEMによる微小試験片の作製 複雑 | 複雑な作製（SEM観察含む） ５本につき | 265,760円 | 川崎技術支援部 |
| K1935 | マルチ解析用FIB-SEMによる微小試験片の作製 条件追加 | １条件追加につき | 11,110円 | 川崎技術支援部 |
■ 機器使用料金 （特に表記のない場合は、1時間当たりの料金となります。）
| 料金NO. | 設備機器名 | メーカー・型式 | 使用料 | 担当部名 |
|---|---|---|---|---|
| K2681 | マルチ解析用集束イオンビーム装置 Scios （１時間あたり） | FEI社 Scios | 51,700円 | 川崎技術支援部 |
※微小試験片の作製のみ、ナノインデンターの費用は別途発生します。
導入年度
平成28年度- この装置に関連するお問い合わせ
- 担当：川崎技術支援部 微細構造解析グループ