電界放出型走査電子顕微鏡（FE-SEM/EDS）


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高分解能であることに加え、焦点深度が深く、広範囲に焦点の合った立体的な像を得ることができます。主に薄膜の表面・断面、金属材料の破断面観察、微小領域での局所分析などに対応します。

【用途・特徴】
材料の表面形態観察を三十倍から数十万倍の範囲で観察できます。
光学顕微鏡に比べて焦点深度が深いので、凹凸のある試料でも観察が可能です。
付属のEDSにより元素分析が可能ですので、付着物や変色部分などトラブルシューティングにおいても威力を発揮します。
低加速電圧での高倍率観察や走査透過電子顕微鏡（STEM）観察が可能です。

立会い観察分析も可能です。
♣ 撮影箇所や分析箇所を指定でき、欲しい情報が的確に得られます。
♣ データを受取るだけでは得られない多くの情報を得る事ができます。
♣ 画像データはその場でお渡しできます。

♦ 薄膜の表面・断面観察
♦ 破面観察
♦ 微小領域での局所分析

メーカー名

株式会社日立ハイテクノロジーズ

型番

S-4800

仕様

FE-SEM二次電子像分解能 ： 1.0nm（15kV），1.4nm（1kVリターディングモード） 試料交換サイズ ： 100mm径（最大）
EDSEDAX　Genesis2000
その他透過電子検出器，EBIC像観察ユニット

ご利用方法

試験計測（依頼試験）、機器使用、技術開発受託（受託研究）で利用できます

料金について

■ 試験計測（依頼試験）料金

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電界放出型走査電子顕微鏡（FE-SEM / EDS）

料金NO.項目単位料金担当部名
K1010電界放出型走査電子顕微鏡（FE-SEM）　５万倍以下観察倍率５万倍以下　１条件につき21,450円川崎技術支援部
K1015電界放出型走査電子顕微鏡（FE-SEM）　　 ５万倍以下　条件追加観察倍率５万倍以下　１条件追加につき4,950円川崎技術支援部
K1020電界放出型走査電子顕微鏡（FE-SEM）　　 ５万倍を超えて10万倍以下観察倍率５万倍を超えて10万倍以下　１条件につき31,020円川崎技術支援部
K1025電界放出型走査電子顕微鏡（FE-SEM）　　 ５万倍を超えて10万倍以下　条件追加観察倍率５万倍を超えて10万倍以下　１条件追加につき9,680円川崎技術支援部
K1030電界放出型走査電子顕微鏡（FE-SEM）　　 10万倍を超えるもの観察倍率10万倍を超えるもの　１条件につき52,470円川崎技術支援部
K1035電界放出型走査電子顕微鏡（FE-SEM）　　 10万倍を超えるもの　条件追加観察倍率10万倍を超えるもの　１条件追加につき15,400円川崎技術支援部
K1040FE-SEM　エネルギー分散型Ｘ線分析装置（EDS）１条件につき15,400円川崎技術支援部
K1041FE-SEM　エネルギー分散型Ｘ線分析装置（EDS）　条件追加１条件追加につき4,950円川崎技術支援部
K1042FE-SEM　エネルギー分散型Ｘ線分析装置（EDS）　面分析面分析１条件につき16,390円川崎技術支援部
K1050電界放出型走査電子顕微鏡（FE-SEM）　SEM観察　10～15視野１試料の観察視野が10～15視野につき（観察倍率関係なし。ただし、設定可能な試料に限る）114,400円川崎技術支援部
K1052電界放出型走査電子顕微鏡（FE-SEM）　SEM観察　16～30視野１試料の観察視野が16～30視野につき（観察倍率関係なし。ただし、設定可能な試料に限る）170,060円川崎技術支援部
K1055電界放出型走査電子顕微鏡（FE-SEM）　SEM観察 条件追加１条件追加につき12,540円川崎技術支援部

■ 機器使用料金 （特に表記のない場合は、1時間当たりの料金となります。）

料金NO.設備機器名メーカー・型式使用料担当部名
K1050電界放出型走査電子顕微鏡（FE-SEM）　SEM観察　10～15視野１試料の観察視野が10～15視野につき（観察倍率関係なし。ただし、設定可能な試料に限る）114,400円川崎技術支援部

■ 機器使用料金 （特に表記のない場合は、1時間当たりの料金となります。）

料金NO.設備機器名メーカー・型式使用料担当部名
K1040FE-SEM　エネルギー分散型Ｘ線分析装置（EDS）１条件につき15,400円川崎技術支援部

■ 機器使用料金 （特に表記のない場合は、1時間当たりの料金となります。）

料金NO.設備機器名メーカー・型式使用料担当部名
K2015FE-SEM/EDS　S-4800　（１時間あたり）日立ハイテクノロジーズ S-480039,380円川崎技術支援部

※観察条件および撮影枚数により費用は変わりますので、詳細は担当職員にお問い合わせください。
ご要望に応じて見積書を作成いたします。

導入年度

平成26年度

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  • この装置に関連するお問い合わせ
  • 担当：川崎技術支援部　微細構造解析グループ