電界放出型走査電子顕微鏡(FE-SEM/EDS)


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高分解能であることに加え、焦点深度が深く、広範囲に焦点の合った立体的な像を得ることができます。主に薄膜の表面・断面、金属材料の破断面観察、微小領域での局所分析などに対応します。

【用途・特徴】
材料の表面形態観察を三十倍から数十万倍の範囲で観察できます。
光学顕微鏡に比べて焦点深度が深いので、凹凸のある試料でも観察が可能です。
付属のEDSにより元素分析が可能ですので、付着物や変色部分などトラブルシューティングにおいても威力を発揮します。
低加速電圧での高倍率観察や走査透過電子顕微鏡(STEM)観察が可能です。

立会い観察分析も可能です。
♣ 撮影箇所や分析箇所を指定でき、欲しい情報が的確に得られます。
♣ データを受取るだけでは得られない多くの情報を得る事ができます。
♣ 画像データはその場でお渡しできます。

♦ 薄膜の表面・断面観察
♦ 破面観察
♦ 微小領域での局所分析

メーカー名

株式会社日立ハイテクノロジーズ

型番

S-4800

仕様

FE-SEM二次電子像分解能 : 1.0nm(15kV),1.4nm(1kVリターディングモード) 試料交換サイズ : 100mm径(最大)
EDSEDAX Genesis2000
その他透過電子検出器,EBIC像観察ユニット

ご利用方法

試験計測(依頼試験)機器使用技術開発受託(受託研究)で利用できます

料金について

■ 試験計測(依頼試験)料金

料金についてはお問い合わせください。

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電界放出型走査電子顕微鏡(FE-SEM / EDS)

料金NO.項目単位料金担当部名
K1010電界放出型走査電子顕微鏡(FE-SEM) 5万倍以下観察倍率5万倍以下 1条件につき20,350円川崎技術支援部
K1015電界放出型走査電子顕微鏡(FE-SEM)   5万倍以下 条件追加観察倍率5万倍以下 1条件追加につき4,510円川崎技術支援部
K1020電界放出型走査電子顕微鏡(FE-SEM)   5万倍を超えて10万倍以下観察倍率5万倍を超えて10万倍以下 1条件につき29,370円川崎技術支援部
K1025電界放出型走査電子顕微鏡(FE-SEM)   5万倍を超えて10万倍以下 条件追加観察倍率5万倍を超えて10万倍以下 1条件追加につき9,020円川崎技術支援部
K1030電界放出型走査電子顕微鏡(FE-SEM)   10万倍を超えるもの観察倍率10万倍を超えるもの 1条件につき51,920円川崎技術支援部
K1035電界放出型走査電子顕微鏡(FE-SEM)   10万倍を超えるもの 条件追加観察倍率10万倍を超えるもの 1条件追加につき14,630円川崎技術支援部
K1040FE-SEM エネルギー分散型X線分析装置(EDS)1条件につき14,850円川崎技術支援部
K1041FE-SEM エネルギー分散型X線分析装置(EDS) 条件追加1条件追加につき4,510円川崎技術支援部
K1042FE-SEM エネルギー分散型X線分析装置(EDS) 面分析面分析1条件につき16,060円川崎技術支援部
K1050電界放出型走査電子顕微鏡(FE-SEM) SEM観察 10~15視野1試料の観察視野が10~15視野につき(観察倍率関係なし。ただし、設定可能な試料に限る)113,080円川崎技術支援部
K1052電界放出型走査電子顕微鏡(FE-SEM) SEM観察 16~30視野1試料の観察視野が16~30視野につき(観察倍率関係なし。ただし、設定可能な試料に限る)169,840円川崎技術支援部
K1055電界放出型走査電子顕微鏡(FE-SEM) SEM観察 条件追加1条件追加につき11,220円川崎技術支援部

■ 機器使用料金 (特に表記のない場合は、1時間当たりの料金となります。)

料金NO.設備機器名メーカー・型式使用料担当部名
K1050電界放出型走査電子顕微鏡(FE-SEM) SEM観察 10~15視野1試料の観察視野が10~15視野につき(観察倍率関係なし。ただし、設定可能な試料に限る)113,080円川崎技術支援部

■ 機器使用料金 (特に表記のない場合は、1時間当たりの料金となります。)

料金NO.設備機器名メーカー・型式使用料担当部名
K1040FE-SEM エネルギー分散型X線分析装置(EDS)1条件につき14,850円川崎技術支援部

■ 機器使用料金 (特に表記のない場合は、1時間当たりの料金となります。)

料金NO.設備機器名メーカー・型式使用料担当部名
K2015FE-SEM/EDS S-4800 (1時間あたり)日立ハイテクノロジーズ S-480038,610円川崎技術支援部

※観察条件および撮影枚数により費用は変わりますので、詳細は担当職員にお問い合わせください。
ご要望に応じて見積書を作成いたします。

導入年度

平成26年度
  • この装置に関連するお問い合わせ
  • 担当:川崎技術支援部 微細構造解析グループ
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