イオンプレーテング実験装置

【用途・特徴】
薄膜製造

メーカー名

日本真空技術株式会社

型番

DRP-40E

ご利用方法

試験計測(依頼試験)で利用できます

料金について

■ 試験計測(依頼試験)料金

真空蒸着

料金NO.項目単位料金担当部名
E1156真空蒸着標準1試料当たり 37,510円電子技術部
E1157真空蒸着 1条件増1条件増すごとに18,150円電子技術部

イオンプレーティング成膜

料金NO.項目単位料金担当部名
E1160イオンプレーティング成膜 標準1試料当たり 50,160円電子技術部
E1170イオンプレーティング成膜 1条件増1条件増すごとに19,250円電子技術部

導入年度

昭和58年度
  • この装置に関連するお問い合わせ
  • 担当:電子技術部 電子材料グループ
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