イオンプレーテング実験装置

【用途・特徴】
薄膜製造

メーカー名

日本真空技術株式会社

型番

DRP-40E

ご利用方法

試験計測（依頼試験）で利用できます

料金について

■ 試験計測（依頼試験）料金

真空蒸着

料金NO.	項目	単位	料金	担当部名
E1156	真空蒸着	標準１試料当たり	38,280円	電子技術部
E1157	真空蒸着　１条件増	１条件増すごとに	18,480円	電子技術部

イオンプレーティング成膜

料金NO.	項目	単位	料金	担当部名
E1160	イオンプレーティング成膜	標準１試料当たり	50,930円	電子技術部
E1170	イオンプレーティング成膜　１条件増	１条件増すごとに	19,470円	電子技術部

導入年度

昭和58年度