高周波スパッタリング装置

【用途・特徴】
薄膜作成

メーカー名

小林理化器械株式会社

型番

SPF-210

仕様

ターゲット径4インチ/逆スパッタ機構付

ご利用方法

試験計測(依頼試験)で利用できます

料金について

■ 試験計測(依頼試験)料金

料金についてはお問い合わせください。

導入年度

昭和60年度
  • この装置に関連するお問い合わせ
  • 担当:電子技術部 
  • その他の技術相談はこちらから
  •