アッシャー装置

【用途・特徴】
半導体製造プロセス装置/レジストの灰化/表面処理

メーカー名

東京応化工業株式会社

型番

OPM-EM600

仕様

振周波数13.56MHz/発振最大出力500W(オートチューニング)/酸素またはCF4導入可能/
最大基板サイズ:4インチ、治具を用意いただければ多数枚処理可能です。

ご利用方法

試験計測(依頼試験)機器使用で利用できます

料金について

■ 試験計測(依頼試験)料金

料金についてはお問い合わせください。

アッシャーによるプラズマ処理

料金NO.項目単位料金担当部名
E1180アッシャーによるプラズマ処理1条件1時間につき17,820円電子技術部

■ 機器使用料金 (特に表記のない場合は、1時間当たりの料金となります。)

料金NO.設備機器名メーカー・型式使用料担当部名
E6880アッシャー装置東京応化工業 OPM-EM60012,540円電子技術部

導入年度

平成4年度
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  • 担当:電子技術部 
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