簡易型走査電子顕微鏡

タングステンフィラメントタイプの走査電子顕微鏡（SEM）で、CCD画像（光学画像）とSEM像が連動する機能を有し、低倍率（光学）から高倍率観察（SEM）まで、同一の観察視野のまま連続的な観察が可能です（Zeromag機能）。

分解能は高真空モードで3.0nm(30kV)、8.0nm(3kV)、15.0nm(1kV)、低真空モードで4.0nm(30kV)です。

また、導電性の無い物質の観察に適した低真空モード（10～100Pa）での観察や、高真空モードでの観察、エネルギー分散型X線分析装置（EDS）によるホウ素（B）からウラン（U）までの元素分析や観察面の元素マッピングも可能です。

さらに、複数のSEM画像を自動的に重ね合わせ、広範囲の合成画像を作成する機能（モンタージュ機能）を有しており、広範囲のSEM画像を得ることも可能です。

【用途・特徴】
観察可能な最大試料サイズはΦ150mm×48mmtで、比較的大型の試料もそのまま観察することが可能です。

また、異物等の解析を行う場合は、CCD画像による広範囲の観察で異物の存在箇所を特定するとともに、特定した異物について、同一視野の拡大によるSEM観察やEDSによる元素分析を一連の作業で行うことが可能です。