フレキシブルディスプレイに用いるフィルムデバイスのレーザー剥離装置

製品化への課題

高精度で高速表示を行うフレキシブルディスプレイの構成部品として、フィルムデバイスがあります。

この部品は、ガラス基板上にフィルムを成形後、基板から剥離して製造します。

本装置は、紫外線レーザーを利用することで、従来よりも低温でダメージの少ないデバイスの作製を可能としています。

KISTECの支援内容

ダメージの少ないフィルムデバイスを作製するため、デバイス製造時のベース基板からフィルムを剥離する工程（レーザーリフトオフ）において課題となっている、フィルムから発生するパーティクルの状態を観察しました。

その結果から、紫外線レーザーのビーム形状フラット化を助言し、デバイスのダメージ低減を可能とした製品化が実現しました。