LSIコンタクトホールの2方向観察事例

LSIに異常が確認され、断面観察よりコンタクトホール直下約50nmの箇所に微小欠陥を捉えることができました。
また、同箇所の平面観察を行い、微小欠陥を定量化しました。

<使用機器> FE-TEM/EDS(電界放出型透過電子顕微鏡)
       FIB(集束イオンビーム装置)
       低エネルギーイオンミリング

<測定手順>

・FIB-マイクロプロービング法による断面試料作製
       ↓
・低エネルギーイオンミリングによる薄片化
       ↓
・TEMによる断面観察(微小欠陥の位置を確認)
       ↓
・FIBによる平面試料作製
       ↓
・低エネルギーイオンミリングによる薄片化
       ↓
・ TEMによる平面観察(確認)
       ↓
・低エネルギーイオンミリングによる微小欠陥の抽出(複数回)
       ↓
・ TEMによる平面観察

<納  期> 担当職員にお問い合わせください。

測定例

断面TEM観察
断面TEM観察
平面TEM観察
平面TEM観察

ご利用を希望される方へ

このページのご紹介内容は、試験計測(依頼試験)でご利用いただけます。

観察条件および撮影枚数により費用は変わりますので、詳細は担当職員にお問い合わせください。
ご要望に応じて見積書を作成いたします。

料金表(単位欄にメーカー・型式を表記している場合:機器使用料金(特に記載がない限り単位は1時間あたり))
料金NO.項目単位(又はメーカー・型式)料金
K1625TEM試料調製 FIB-マイクロプロービング法 低加速ガリウムイオン低加速ガリウムイオン仕上げ 1試料につき112,090円
K1425TEM試料調製 低エネルギーイオンミリング (ジェントルミル)1試料1条件につき13,530円
K1440電界放出型分析透過電子顕微鏡(FE-TEM)10万倍以下倍率 10万倍以下 1視野につき17,710円
K1441電界放出型分析透過電子顕微鏡(FE-TEM)10万倍を超えて50万倍以下倍率 10万倍を超えて50万倍以下 1視野につき23,540円
K1460電界放出型分析透過電子顕微鏡(FE-TEM)試料傾斜調整試料傾斜調整 1条件ごとに12,210円

関連リンク

  1. 電界放出型分析透過電子顕微鏡(FE-TEM/EDS)
  2. 電界放出型透過電子顕微鏡(FE-TEM/EDS)
  3. 【★動画でご紹介!】透過電子顕微鏡(YouTube公式チャンネル)
  • この分析事例に関連するお問い合わせ
  • 担当:川崎技術支援部