Ｘ線透視装置による電子基板、電子部品、機械部品等の内部観察、非破壊検査

Ｘ線透視装置は、図1に示すように装置内部にて、観察サンプルに下方よりＸ線を照射し、上方に置かれたＸ線カメラに投影されたX線透過像により、観察サンプルの内部構造や欠陥等を調べるものです。

装置の外側は主に鉛や鋼板で構成された防護箱となっており、作業者は外部のパソコンを通じて作業がサンプルステージやＸ線カメラの傾斜・回転角等の観察状況を調整しながら、被ばくのリスクを受けることなく安全に透過像を観察することができます。

当所の装置はＸ線源の焦点寸法が1μｍ程度であり、細かな構造や欠陥の観察が可能です。主な観察対象として電子基板、電子部品、機械部品等があげられます。

以下、この装置による観察事例を紹介します。

このページのご紹介内容は、試験計測（依頼試験）、機器使用でご利用いただけます。

料金表（単位欄にメーカー・型式を表記している場合：機器使用料金（特に記載がない限り単位は１時間あたり））

料金NO.	項目	単位（又はメーカー・型式）	料金
E0960	Ｘ線透過試験	１時間当たり	7,590円
E7230	X線透視装置	島津製作所　　SMX-2000	4,290円

※E0960は試験計測料金、E7230は機器使用料金となります。　詳細は、お問い合わせください。

今回のＸ線透視装置による電子基板、電子部品、機械部品等の内部観察、非破壊検査の事例については、
「精密機器、電子機器、電子部品、医療機器、成型部品等の開発・設計・製造」分野の皆様におすすめです。

以下のようなお悩み・課題の解決にご活用ください。
・破壊せずに内部の状態を3次元的に調べたい
・様々なものの故障解析や品質確認がしたい
・分解や加工してしまうと状態が変化してしまうものを調べたい

【PRポイント】

・電子基板を破壊せずそのまま測定できる傾斜型CTスキャン機能を有しており、高倍率高分解能（試料の状態によりますが理想的な条件下では数μｍ程度の分解能が得られます）が可能です。