電子技術部(機器・設備)
KISTECが保有している試験計測機器・研究設備(電子技術部所管)を紹介します。
これらの機器・設備はKISTECの専門職員が行う各種試験や研究に使用されるほか、お客様ご自身が来所のうえ、ご利用いただけるものもございます。
お客様自身でご利用可能な機器・設備は、各機器の詳細ページ、又は機器使用よりご確認いただけます。
生産・加工機器
- 自動研磨機
- 焼き付け装置
- 電気炉
- 減圧熱処理装置
- 高温小型真空雰囲気炉
- スピンコーター
- 磁性薄膜用三元スパッタ装置
- 金属ナノペースト接合装置
- 高周波スパッタリング装置
- 電極形成装置
- 電子線描画装置 (電子ビーム描画装置/EB描画装置/EB露光装置)
- 陽極接合装置
- 酸化拡散装置
- 超音波ボールボンダ
- 超音波ウェッジボンダ
- 研磨機(ムサシノ電子・MA-200)
- 両面マスクアライナ(手動式マスクアライナ/紫外線露光装置)
- マスクアライナ
- マグネトロンスパッター装置
- フリップチップボンダ
- ダイボンダ(チップ付け装置)
- イオンプレーテング実験装置
- イオンプレーティング装置
- アッシャー装置
- ECRプラズマエッチング装置
環境試験・電磁環境試験機器
- 冷熱衝撃試験機(TSA-73EH-W)
- 放射・伝導電磁界イミュニティ測定システム
- EMI 測定システム
- 電波暗室(改修)及びシールド室
- 伝導イミュニティ試験システム
- 冷熱サイクル試験機
- 高速温湿度システム(急速温度変化サイクル試験機)
- 高速温湿度システム(熱衝撃試験機)
- 高速温湿度システム(高度加速寿命(PCT)試験機)
- 恒温恒湿槽(大、150℃対応)
- 恒温恒湿槽
- 冷熱サイクル試験機(2)(冷熱衝撃試験機/ヒートショック試験装置)
- プレッシャークッカー試験機
試料調製用機器
page top試験・計測機器
- ガウスメーター
- 磁歪測定装置
- 半導体デバイスアナライザ
- ハイレジスタンスメータ(絶縁抵抗計)
- デジタルパワーメータ
- マルチフリケンシLCRメータ
- Qメータ
- ボロメータ評価システム用 微小信号測定システム
- C-V測定器
- 薄膜屈折率測定装置
- ボロメータ評価システム用高温電気測定用チャンバ
- マイクロ波ネットワークアナライザ測定装置
- パワー半導体特性評価装置(半導体カーブトレーサ)
- ネットワークアナライザ(回路定数・測定解析システム)
- 電子デバイスパラメータ測定システム
- 耐電圧試験機
- 半導体パラメータアナライザ
- マイクロ波信号発生器
- マイクロ波ネットワークアナライザ測定システム
- ホール測定装置
- スペクトラムアナライザ(システム)
- ガウスメーター
- LCRメータ
- 直流磁化特性自動記録装置(軟質磁性材料用)
- 直流磁化特性自動記録装置(硬質磁性材料用)
- 振動試料型磁力計
- 交流磁化特性測定装置
- 非接触ミクロン厚さ測定機
- 膜厚計(小坂研究所・ET4000AKR)
- 微小部品強度試験機(ボンドテスター)
- 光干渉式膜厚測定装置
- ボロメータ評価システム用赤外線光源システム
- 電磁界解析装置