透明導電膜のTEM観察事例

単結晶基板上に作製した透明導電膜の結晶性や析出物の有無などを断面方向から観察し、薄膜の構造を明らかにしました。
通常のTEM観察より薄片化しなければ、高分解能観察ができないことから、低エネルギーイオンミリングを使用。

＜使用機器＞

1. 分析透過電子顕微鏡（FE-TEM/EDS）
2. 集束イオンビーム装置（FIB）
3. 低エネルギーイオンミリング装置（Gentle Mill）

＜作業工程＞

FIB-マイクロプロービング法による試料作製　　→　　低エネルギーイオンミリング　　→　　TEM観察

＜納期＞

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測定例

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• 材料　電子材料、膜｜技術分野　不具合｜分析・試験・評価法　微細構造