FE-TEM（電界放出型透過電子顕微鏡）による透明導電膜の解析

単結晶基板上に作製した透明導電膜の結晶性や析出物の有無などを断面方向から観察し、薄膜の構造を明らかにしました。

通常のTEM観察より薄片化しなければ、高分解能観察ができないことから、低エネルギーイオンミリングを使用。

＜使用機器・作業工程＞
作製方法：FIB-マイクロプロービング法
作製装置：FIB（集束イオンビーム装置）
最終加工：低エネルギーイオンミリング装置
観察装置：FE-TEM（電界放射型透過電子顕微鏡）

＜納期＞
担当職員にお問い合わせください。

試験計測（依頼試験）で利用できます。

この事例の参考料金の表示は、現在調整中です。

観察条件および撮影枚数により費用は変わりますので、詳細は担当職員にお問い合わせください。ご要望に応じて見積書を作成いたします。

詳細は、お問い合わせください。

「FE-TEM（電界放出型透過電子顕微鏡）による透明導電膜の解析」に関連する資料やwebページです。