微細構造解析分野:試験計測(溝の口)

電界放出型走査電子顕微鏡(FE-SEM/EDS)

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高分解能分析走査電子顕微鏡(FE-SEM/EDS)

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電界放出型分析透過電子顕微鏡(FE-TEM/EDS)

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分析透過電子顕微鏡(FE-TEM/EDS)

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TEM試料調製

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集束イオンビーム装置(FIB)

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マルチ解析用集束イオンビーム装置(FIB)

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画像解析システム

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