薄膜屈折率測定
エリプソメーターによる薄膜の膜厚・屈折率の測定 (単一波長:632.8nm)
【試験対象】
半導体、光学薄膜
例:シリコン熱酸化膜の膜厚分布測定、他)2次元マッピングが可能ですが、測定は単色光になります。
【試験対象】
半導体、光学薄膜
例:シリコン熱酸化膜の膜厚分布測定、他)2次元マッピングが可能ですが、測定は単色光になります。
料金について
料金表番号 | 試験名 | 単位 | 料金 |
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E1030 | 薄膜屈折率測定 | 1試料につき | 23,760円 |
使用する機器について
この試験に使用する機器は以下の通りです。
担当部署
電子技術部 電子材料グループ分類
海老名本部 試験計測 | 機械機器、電気・電子部品等の性能の評価 | デバイス・実装- この試験に関連するお問い合わせ
- 担当:電子技術部 電子材料グループ