薄膜屈折率測定

エリプソメーターによる薄膜の膜厚・屈折率の測定 (単一波長:632.8nm)

【試験対象】
 半導体、光学薄膜

例:シリコン熱酸化膜の膜厚分布測定、他)2次元マッピングが可能ですが、測定は単色光になります。

料金について

料金表番号試験名単位料金
E1030薄膜屈折率測定 1試料につき23,760円

使用する機器について

この試験に使用する機器は以下の通りです。

担当部署

電子技術部 電子材料グループ

分類

海老名本部 試験計測 | 機械機器、電気・電子部品等の性能の評価 | デバイス・実装
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  • 担当:電子技術部 電子材料グループ
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