薄膜屈折率測定

エリプソメーターによる薄膜の膜厚・屈折率の測定 （単一波長：632.8nm）

【試験対象】
　半導体、光学薄膜

例：シリコン熱酸化膜の膜厚分布測定、他）2次元マッピングが可能ですが、測定は単色光になります。

料金について

料金表番号	試験名	単位	料金
E1030	薄膜屈折率測定	１試料につき	23,760円

使用する機器について

この試験に使用する機器は以下の通りです。

担当部署

電子技術部　電子材料グループ

分類

海老名本部　試験計測　|　機械機器、電気・電子部品等の性能の評価　|　デバイス・実装