アッシャーによるプラズマ処理

※令和5年4月1日に試験計測等料金表を改定致しました。ホームページの表示への反映が完了するまでしばらくお時間を頂戴しますので、
 修正が完了するまでは「試験計測等料金表(PDF版)」をご確認ください。ご迷惑をおかけして申し訳ございませんが、ご理解の程よろしくお願いいたします。

表面改質、有機物除去

【試験対象】
 CF4プラズマ処理、酸素プラズマ処理

例)レジスト残渣の除去 等

料金について

料金表番号試験名単位料金
E1180アッシャーによるプラズマ処理1条件1時間につき18,040円

使用する機器について

この試験に使用する機器は以下の通りです。

担当部署

電子技術部 電子デバイスグループ

分類

海老名本部 試験計測 | 機械機器、電気・電子部品等の性能の評価 | デバイス・実装
  • この試験に関連するお問い合わせ
  • 担当:電子技術部 電子デバイスグループ