アッシャーによるプラズマ処理

※令和５年４月１日に試験計測等料金表を改定致しました。ホームページの表示への反映が完了するまでしばらくお時間を頂戴しますので、
　修正が完了するまでは「試験計測等料金表（PDF版）」をご確認ください。ご迷惑をおかけして申し訳ございませんが、ご理解の程よろしくお願いいたします。

表面改質、有機物除去

【試験対象】
　CF4プラズマ処理、酸素プラズマ処理

例）レジスト残渣の除去　等