アッシャーによるプラズマ処理

表面改質、有機物除去

【試験対象】
　CF4プラズマ処理、酸素プラズマ処理

例）レジスト残渣の除去　等

料金について

料金表番号	試験名	単位	料金
E1180	アッシャーによるプラズマ処理	１条件１時間につき	18,040円

使用する機器について

この試験に使用する機器は以下の通りです。

担当部署

電子技術部　電子デバイスグループ

分類

海老名本部　試験計測　|　機械機器、電気・電子部品等の性能の評価　|　デバイス・実装