ECRプラズマエッチング

プラズマを用いるドライエッチング法の一つであり、この場合は、ECR (電子サイクロトロン共鳴) によりプラズマを発生させます。

【試験対象】
 電子材料

例)GaAsのエッチング等

料金について

料金表番号試験名単位料金
E1190ECRプラズマエッチング標準1試料当たり48,070円

使用する機器について

この試験に使用する機器は以下の通りです。

担当部署

電子技術部 電子デバイスグループ

分類

海老名本部 試験計測 | 機械機器、電気・電子部品等の性能の評価 | デバイス・実装
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