高精度フォトリソグラフィ

UV露光による感光性樹脂への高精度転写 両面パターンにも対応可

【試験対象】
　ウエハサイズ：2cm角から6インチφまで対応 マスクサイズ：4、5、7インチ角に対応 バキューム/ハード/ソフトコンタクト、プロキシミティ露光に対応(サンプルによる制限あり)

１μｍ以下の微細パターンの形成が高い重ね合わせ精度により加工が可能です。
応用例：LED用基板、MEMSデバイス、マイクロ金型、マイクロ流体デバイス（μ-TAS）、レジストの高アスペクト比加工、薄膜パターニングなど

料金について

料金表番号	試験名	単位	料金
E1191	高精度フォトリソグラフィ	１枚につき	26,070円
E1192	高精度フォトリソグラフィ　１枚増	１枚増すごとに	9,460円

使用する機器について

この試験に使用する機器は以下の通りです。

担当部署

電子技術部　電子デバイスグループ

分類

海老名本部　試験計測　|　機械機器、電気・電子部品等の性能の評価　|　デバイス・実装