高精度フォトリソグラフィ

UV露光による感光性樹脂への高精度転写 両面パターンにも対応可

【試験対象】
 ウエハサイズ:2cm角から6インチφまで対応 マスクサイズ:4、5、7インチ角に対応 バキューム/ハード/ソフトコンタクト、プロキシミティ露光に対応(サンプルによる制限あり)

1μm以下の微細パターンの形成が高い重ね合わせ精度により加工が可能です。
応用例:LED用基板、MEMSデバイス、マイクロ金型、マイクロ流体デバイス(μ-TAS)、レジストの高アスペクト比加工、薄膜パターニングなど

料金について

料金表番号試験名単位料金
E1191高精度フォトリソグラフィ1枚につき25,300円
E1192高精度フォトリソグラフィ 1枚増 1枚増すごとに9,020円

使用する機器について

この試験に使用する機器は以下の通りです。

担当部署

電子技術部 電子デバイスグループ

分類

海老名本部 試験計測 | 機械機器、電気・電子部品等の性能の評価 | デバイス・実装
  • この試験に関連するお問い合わせ
  • 担当:電子技術部 電子デバイスグループ
  • その他の技術相談はこちらから
  •