電子線リソグラフィ

電子線リソグラフィによる電子線レジスト樹脂への高精細パターン形成

【試験対象】
 ウエハサイズ:3インチφ、4インチφ 小片試料サイズ:10mm角、20mm角、25mm角 マスクサイズ:4インチ角、5インチ角 試料サイズが4インチ以上の場合、試料上でパターン形成ができない場所が一部あります。
 「E1200 電子線リソグラフィ」に必要な試料調製(電子線レジストの塗布処理、現像処理)については「E1201 電子線リソグラフィ 試料調製」で対応します。
 塗布処理については、電子線レジストは高価な材料であることから依頼者の持ち込みなどで対応いたしますので、ご相談ください。

数十~数百ナノメートルの微細パターンの形成加工や電子線描画処理が可能です。 応用例:研究、開発段階での微細パターンの試作、薄膜パターニング、ナノインプリント用型の形成、微細構造を利用した表面加工(光の反射率低減など)、高周波増幅器、センサー類の作製など

料金について

料金表番号試験名単位料金
E1200電子線リソグラフィ1時間当たり 10,120円
E1201電子線リソグラフィ試料調製1試料につき9,350円

使用する機器について

この試験に使用する機器は以下の通りです。

担当部署

電子技術部 電子材料グループ

分類

海老名本部 試験計測 | 機械機器、電気・電子部品等の性能の評価 | デバイス・実装
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  • 担当:電子技術部 電子材料グループ
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