微小部X線光電子分光分析

固体表面にX線を照射して光電効果により放出される光電子の運動エネルギー(EK)と強度を測定する手法である。測定したEKから、各軌道における電子の結合エネルギー(EB)を算出することにより、元素分析が可能である。また、注目原子に結合する原子の種類や結合状態によって、EBはわずかに変化する。この変化を測定することにより化学状態分析もできる。なお、XPSの測定深さは数nm程度である。

料金について

料金表番号試験名単位料金
E1980微小部X線光電子分光分析 (ワイドスキャンのみ)1試料1ヶ所につき14,410円
E1982微小部X線光電子分光分析 (ワイドおよびナロースキャン) 1試料1ヶ所につき(6元素まで)21,450円
E1984微小部X線光電子分光分析(面分析,線分析)1試料1ヶ所につき(5元素まで)22,440円
E1986微小部X線光電子分光分析(深さ方向分析)1試料1ヶ所につき(6元素まで)33,770円
E1990微小部X線光電子分光分析 条件増1条件増すごとに5,280円
E1992微小部X線光電子分光分析 元素増(1)1元素増すごとに(E1982,E1984に適用)4,510円
E1994微小部X線光電子分光分析 元素増(2)1元素増すごとに(E1986に適用)6,710円

使用する機器について

この試験に使用する機器は以下の通りです。

担当部署

機械・材料技術部 解析評価グループ

分類

海老名本部 試験計測 | 材料や異物等の材質、成分、元素、物性の分析  | 固体・表面分析
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