高分解能分析走査電子顕微鏡 (FE-SEM/EDS)

最新の高性能電子光学系により、金属や半導体、セラミクス、有機物、磁性材料など様々な試料に対し、低倍率から高分解能観察まで行うことができる電子顕微鏡です。検出器を多数付属していることから組成像、凹凸像など様々な画像を取得することができます。元素分析装置も搭載しており、試料の元素同定や分布など有用な情報も得ることができます。

特徴
・光学顕微鏡では得られない焦点深度の深い観察が行えます。
・30倍から100万倍まで幅広い領域の観察が行えます。
・付属のEDS分析装置で試料の組成や分布がわかります。
・低真空モードを使用することで、絶縁材料等を無蒸着で観察することができます。
・STEM検出器を用いた透過像の観察が可能です。
・GBモードを使用すると、極低加速電圧で微細構造を観察することができます。

仕様
・分解能:0.7nm(15kV), 0.7nm(1kV)
・検出器:上方検出器(UED)、上方二次電子検出器(USD)、下方検出器(LED)、反射電子検出器(BED)
・試料サイズ:最大100mm径
・EDS:NORAN System7(サーモフィッシャーサイエンティフィック製)
・分析モード:点分析, 線分析, 面分析
・分析対象元素:B~U
・その他:STEM観察, 低真空観察, GB観察

料金について

料金表番号試験名単位料金
K1310高分解能分析走査電子顕微鏡 (FE-SEM/EDS) SEM観察 5万倍以下観察倍率5万倍以下 1試料1視野観察につき20,240円
K1315高分解能分析走査電子顕微鏡 (FE-SEM/EDS) SEM観察 5万倍以下1視野追加観察倍率5万倍以下 同一試料において1視野追加観察につき4,400円
K1320高分解能分析走査電子顕微鏡 (FE-SEM/EDS) SEM観察 5万倍を超えて10万倍以下観察倍率5万倍を超えて10万倍以下  1試料1視野観察につき29,260円
K1325高分解能分析走査電子顕微鏡 (FE-SEM/EDS) SEM観察 5万倍を超えて10万倍以下 1視野追加観察倍率5万倍を超えて10万倍以下 同一試料において1視野追加観察につき8,910円
K1330高分解能分析走査電子顕微鏡 (FE-SEM/EDS) SEM観察 10万倍を超えるもの観察倍率10万倍を超えるもの 1試料1視野観察につき51,920円
K1335高分解能分析走査電子顕微鏡 (FE-SEM/EDS) SEM観察 10万倍を超えるもの 1視野追加観察倍率10万倍を超えるもの 同一試料において1視野追加観察につき14,630円
K1392高分解能分析走査電子顕微鏡 (FE-SEM/EDS) SEM観察 10~15視野1試料の観察視野が10~15視野につき(観察倍率関係なし。ただし、設定可能な試料に限る)112,860円
K1395高分解能分析走査電子顕微鏡 (FE-SEM/EDS) SEM観察 16~30視野1試料の観察視野が16~30視野につき(観察倍率関係なし。ただし、設定可能な試料に限る)169,290円
K1342高分解能分析走査電子顕微鏡 (FE-SEM/EDS) SEM観察 低真空モード低真空モードの使用11,220円
K1343高分解能分析走査電子顕微鏡 (FE-SEM/EDS) SEM観察 STEM透過像観察機能(STEM)の使用11,220円
K1340高分解能分析走査電子顕微鏡 (FE-SEM/EDS) SEM観察 1条件追加1条件追加につき11,220円
K1345高分解能分析走査電子顕微鏡 (FE-SEM/EDS) SEM観察 ArクリーナーArクリーナーの使用10分につき2,200円
K1350高分解能分析FE-SEM エネルギー分散型X線分析装置(EDS) 点分析点分析1視野1箇所につき16,830円
K1351高分解能分析FE-SEM エネルギー分散型X線分析装置(EDS) 点分析追加点分析同一視野内で1箇所追加につき5,500円
K1352高分解能分析FE-SEM エネルギー分散型X線分析装置(EDS) 線分析線分析1視野1箇所につき22,550円
K1353高分解能分析FE-SEM エネルギー分散型X線分析装置(EDS) 線分析追加線分析同一視野内で1箇所追加につき8,470円
K1354高分解能分析FE-SEM エネルギー分散型X線分析装置(EDS) 面分析面分析1視野につき33,770円
K1356高分解能分析FE-SEM エネルギー分散型X線分析装置(EDS) 各種データ処理各種データ処理1条件につき5,500円

※観察条件および撮影枚数により費用は変わりますので、詳細は担当職員にお問い合わせください。
ご要望に応じて見積書を作成いたします。

使用する機器について

この試験に使用する機器は以下の通りです。

担当部署

川崎技術支援部 微細構造解析グループ
*同様の試験を海老名本部でも行っております(料金番号:E0011)。

分類

溝の口支所 試験計測 | 微細構造解析分野 | 高分解能分析走査電子顕微鏡(FE-SEM/EDS)
  • この試験に関連するお問い合わせ
  • 担当:川崎技術支援部 微細構造解析グループ
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