TEM試料調製 FIB-リフトアウト法

透過電子顕微鏡(TEM)の観察は、観察対象とするサンプルを約100nm以下の厚さに加工しなければ電子が透過しないことから、観察、分析をすることができません。FIB-リフトアウト法は集束イオンビーム装置(FIB)で観察対象を薄片化した後、マニピュレーターを用いて薄片化サンプルをTEM用メッシュへ固定します。

料金について

料金表番号試験名単位料金
K1620TEM試料調製 FIB-リフトアウト法1試料につき81,730円
K1621TEM試料調製 FIB-リフトアウト法 条件追加1条件追加につき29,260円

担当部署

川崎技術支援部 微細構造解析グループ

分類

溝の口支所 試験計測 | 微細構造解析分野 | TEM試料調製
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