TEM試料調製 FIB-マイクロプロービング法 低加速ガリウムイオン

透過電子顕微鏡(TEM)の観察は、観察対象とするサンプルを約100nm以下の厚さに加工しなければ電子が透過しないことから、観察、分析をすることができません。集束イオンビーム装置(FIB)で観察対象を薄片化することにより、TEM試料を作製することができます。また、局所箇所をピンポイントで加工することも可能です。

※最終の仕上げ面は、低加速ガリウムイオンを用いております。

料金について

料金表番号試験名単位料金
K1625TEM試料調製 FIB-マイクロプロービング法 低加速ガリウムイオン低加速ガリウムイオン仕上げ 1試料につき111,980円
K1663TEM試料調製 FIB-マイクロプロービング法 低加速ガリウムイオン 試料作製のみ低加速ガリウムイオン仕上げ 1試料につき(試料作製のみ)129,690円
K1626TEM試料調製 FIB-マイクロプロービング法 低加速ガリウムイオン条件追加低加速ガリウムイオン仕上げ 1条件追加につき29,590円

※注)試料作製のみ希望の場合は、TEMによる薄片化の確認作業料金が加算されます。
・K1740 電界放出型透過電子顕微鏡(FE-TEM)による観察(10万倍以下):18,590円
ご要望に応じて見積書を作成いたします。

担当部署

川崎技術支援部 微細構造解析グループ

分類

溝の口支所 試験計測 | 微細構造解析分野 | TEM試料調製
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