TEM試料調製 FIB-マイクロプロービング法 アルゴンイオンミリング

透過電子顕微鏡(TEM)の観察は、観察対象とするサンプルを約100nm以下の厚さに加工しなければ電子が透過しないことから、観察、分析をすることができません。集束イオンビーム装置(FIB)で観察対象を薄片化することにより、TEM試料を作製することができます。また、局所箇所をピンポイントで加工することも可能です。

※最終の仕上げ面は、低加速ガリウムイオン加工後にアルゴンイオンミリングによるクリーニング処理を行います。

料金について

令和6年4月1日に試験計測等料金が改訂されました。新料金表示の対応が完了するまではPDFファイル(試験計測等料金表(1MB))をご確認ください。
料金表番号試験名単位料金
K1627TEM試料調製 FIB-マイクロプロービング法 アルゴンイオンミリングアルゴンイオンミリング仕上げ  1試料につき125,950円
K1666TEM試料調製 FIB-マイクロプロービング法 アルゴンイオンミリング 試料作製のみアルゴンイオンミリング仕上げ  1試料につき(試料作製のみ)143,770円
K1628TEM試料調製 FIB-マイクロプロービング法 アルゴンイオンミリング条件追加アルゴンイオンミリング仕上げ  1条件追加につき29,590円

※注)試料作製のみ希望の場合は、TEMによる薄片化の確認作業料金が加算されます。
・K1740 電界放出型透過電子顕微鏡(FE-TEM)による観察(10万倍以下):18,590円
ご要望に応じて見積書を作成いたします。

担当部署

川崎技術支援部 微細構造解析グループ

分類

溝の口支所 試験計測 | 微細構造解析分野 | TEM試料調製
  • この試験に関連するお問い合わせ
  • 担当:川崎技術支援部 微細構造解析グループ