レーザーマーキング

分析箇所の特定のため、レーザーマーカーを用いマーキングを行います。
レーザーマーカーは試料表面をCCDカメラで拡大観察しながら、細く絞ったレーザー光を照射し、任意の場所へ簡単にマーキングできる装置です。集束イオンビーム装置(FIB)や走査電子顕微鏡(SEM)の電子像では確認が困難であった変色部位などの特定に、そのマーキング機能は威力を発揮します。

微細加工時の位置確認用マーキングや、多層薄膜基板の表面薄膜除去などにも活用できます。

特徴
・532nmと355nmの2種類のレーザーを切り替えて使用できるため、金属材料、絶縁材料、TFT、などの多種類のサンプルに対応可能。
・対物レンズの倍率を変えることで、異なったサイズ(1μm角~150μm角)のマーキングが行うことができます。

仕様
・レーザー波長:532nmと355nmの2種類(切替式)
・照射ビーム寸法:1μm角~150μm角
・対物レンズ:10×(観察用)、20×、50×、100×

料金について

料金表番号試験名単位料金
K1630レーザーマーキング15分以内4,950円
K1635レーザーマーキング 追加追加15分あたり3,960円

使用する機器について

この試験に使用する機器は以下の通りです。

担当部署

川崎技術支援部 微細構造解析グループ

分類

溝の口支所 試験計測 | 微細構造解析分野 | 集束イオンビーム装置(FIB)
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  • 担当:川崎技術支援部 微細構造解析グループ
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