集束イオンビーム装置(FIB)

高精度加工・極低加速電圧加工が可能な集束イオンビーム(FIB)に、超高解像度のフィールドエミッション走査電子顕微鏡(FE-SEM)を搭載した小片試料~200mmφウェーハまでに対応したトリプルビーム装置です。

特徴
・XVision200TBにはFIB-SEM-Arの3つのビームが試料の同一位置に交差するトリプルビームシステムを採用。(上図)
・断面加工観察・TEM試料作成およびアルゴン低加速ミリング仕上げ・EDS分析が1台で可能。
・FIB加工を中断することなく加工中の断面SEM像をリアルタイムで観察できるため、微細な加工終点を逃さずに加工可能。
・チャンバーSE検出器、InLensSE検出器、EsB反射電子検出器・EDSなど、微細化の進むデバイス解析に必須なイメージング /分析ツールを搭載。
・最大200mmφウェーハ面内の複数箇所からのTEM試料作成機能によ り、プロセス評価・故障解析に威力を発揮。

仕様
・SEM分解能:3.0nm(5kV)
・検出器:二次電子検出器、反射電子検出器
・推奨試料サイズ:最大200mm径
・FIB分解能:4nm(30kV時)
・EDS:NORAN System7(サーモフィッシャーサイエンティフィック製)
・分析モード:点分析, 線分析, 面分析
・分析対象元素:B~U
・その他:アルゴンイオンガン搭載

料金について

料金表番号試験名単位料金
K1640集束イオンビーム装置(FIB)1時間以内33,660円
K1641集束イオンビーム装置(FIB) 追加追加1時間あたり28,600円
K1642集束イオンビーム装置(FIB) (連続自動加工)追加1時間あたり(ただし、設定可能なものに限る)16,500円
K1650FIBオプション カーボン膜デポジション10分あたり2,420円
K1651FIBオプション タングステン膜デポジション10分あたり2,420円
K1660FIBオプション マイクロプロービングシステム1時間あたり18,150円
K1670FIBオプション アルゴンイオンミリング30分あたり11,330円
K1680FIB付属のSEM1試料1視野観察につき20,460円
K1681FIB付属のSEM 視野追加同一試料において1視野追加観察につき4,620円
K1682FIB付属のSEM 条件追加同一試料において1条件追加につき4,620円
K1690FIB付属のSEMオプション EDS分析測定 点分析点分析1視野1箇所につき16,940円
K1691FIB付属のSEMオプション EDS分析測定 点分析追加点分析同一視野内で1箇所追加につき5,830円
K1694FIB付属のSEMオプション EDS分析測定 線分析線分析1視野1箇所につき22,550円
K1695FIB付属のSEMオプション EDS分析測定 線分析追加線分析同一視野内で1箇所追加につき8,800円
K1692FIB付属のSEMオプション EDS分析測定 面分析面分析1視野につき33,880円
K1696FIB付属のSEMオプション EDS分析測定 各種データ処理各種データ処理1条件につき5,720円
K1672FIB-SEMによる 三次元再構築用連続断面画像の取得1測定につき110,770円
K1674FIB-SEMによる 三次元再構築用連続断面画像の取得  条件追加1条件追加につき11,000円

※サンプルの加工量(体積)や材質による長時間加工等により費用は変わりますので、詳細は担当職員にお問い合わせください。
ご要望に応じて見積書を作成いたします。

使用する機器について

この試験に使用する機器は以下の通りです。

担当部署

川崎技術支援部 微細構造解析グループ

分類

溝の口支所 試験計測 | 微細構造解析分野 | 集束イオンビーム装置(FIB)
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  • 担当:川崎技術支援部 微細構造解析グループ
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