マイクロフォーカスX線検査装置

X線透過観察をおこなうことにより、部品等の内部を非破壊で観察することができます。
物質によるX線の透過率の差を利用して部品や材料内部を観察する装置で、空港の手荷物検査や医療用レントゲンと同じ原理です。
マイクロフォーカスX線検査装置はその名前の通り最小焦点寸法が1μmと非常に小さいため、通常のX線透過観察装置より高倍率で非破壊観察することが可能で、主として電子部品の解析に使用されます。

最大試料寸法  :300mm×250mm
管電圧     :40~140kV
焦点寸法    :1μm以下
ステージ可動範囲:X方向 300mm, Y方向 250mm, Z方向 250mm
導入年     :平成11年

料金について

料金表番号試験名単位料金
K1720マイクロフォーカスX線検査装置30分以内6,930円
K1725マイクロフォーカスX線検査装置 追加追加15分あたり2,970円

担当部署

川崎技術支援部 太陽電池評価グループ

分類

溝の口支所 試験計測 | 材料解析分野 | 機器分析 マイクロフォーカスX線検査装置(μF-X線)
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