マルチ解析用集束イオンビーム装置(FIB-SEM/EDS/EBSD)

最新のFIB-SEMです。局所領域の断面加工と観察、TEM試料作製、三次元解析を行うことが可能です。本装置は高性能電子光学系を有したSEMを搭載しているため、金属、セラミックス、有機物など様々な試料から多様な情報を得ることができます。元素分析装置(EDS)、結晶方位解析装置(EBSD)も搭載しており、多角的な解析が可能です。

特徴
・微細な領域の断面加工と観察を行うことができます。
・材料の三次元解析を行うことができます。
・付属のEDSにより、試料の元素分析を行うことができます。
・付属のEBSDにより、結晶性材料の方位解析を行うことができます。
・低真空モードを使用することで、セラミックス等の絶縁材料を無蒸着で分析することができます。

仕様
・SEM分解能:1.0nm(15kV)、1.6nm(1kV)
・検出器:二次電子検出器、反射電子検出器
・推奨試料サイズ:最大30mm径×10mm径程度
・FIB分解能:5nm
・EDS:X-MaxN 150mm2(Oxford製)
・分析モード:点分析, 線分析, 面分析
・分析対象元素:B~U
・その他:低真空観察(10~50Pa)

料金について

料金表番号試験名単位料金
K1940マルチ解析用集束イオンビーム装置(FIB)1時間以内33,330円
K1941マルチ解析用集束イオンビーム装置(FIB) 追加追加1時間あたり28,820円
K1942マルチ解析用集束イオンビーム装置(FIB)(連続自動加工)追加1時間あたり (ただし、設定可能なものに限る)16,500円
K1950マルチ解析用FIBオプション カーボン膜デポジション10分あたり2,310円
K1951マルチ解析用FIBオプション プラチナ膜デポジション10分あたり2,200円
K1955マルチ解析用FIBオプション Easy Lift1時間あたり17,930円
K1960マルチ解析用FIB付属のSEM1試料1視野観察につき20,130円
K1961マルチ解析用FIB付属のSEM 視野追加同一試料において1視野追加観察につき4,510円
K1962マルチ解析用FIB付属のSEM 条件追加同一試料において1条件追加につき4,510円
K1965マルチ解析用FIB付属のSEMオプション 低真空低真空モードの使用11,110円
K1970マルチ解析用FIB付属のSEMオプション EDS分析測定 点分析点分析1視野1箇所につき16,610円
K1971マルチ解析用FIB付属のSEMオプション EDS分析測定 点分析追加点分析同一視野内で1箇所追加につき5,610円
K1974マルチ解析用FIB付属のSEMオプション EDS分析測定 線分析線分析1視野1箇所につき22,220円
K1975マルチ解析用FIB付属のSEMオプション EDS分析測定 線分析追加線分析同一視野内で1箇所追加につき8,470円
K1976マルチ解析用FIB付属のSEMオプション EDS分析測定 面分析面分析1視野につき33,440円
K1978マルチ解析用FIB付属のSEMオプション EDS分析測定 各種データ処理各種データ処理1条件につき5,720円
K1980マルチ解析用FIB付属のSEMオプション EBSD分析測定 結晶方位マップ結晶方位マップ1視野につき45,430円
K1981マルチ解析用FIB付属のSEMオプション EBSD分析測定 視野追加同一試料で1視野追加につき11,110円
K1984マルチ解析用FIB付属のSEMオプション EBSD分析測定 条件追加1条件追加につき11,110円
K1985マルチ解析用FIB付属のSEMオプション EBSD分析測定 各種データ処理各種データ処理1条件につき5,720円
K1990マルチ解析用FIB-SEMによる三次元再構築用連続断面画像の取得1測定につき110,660円
K1995マルチ解析用FIB-SEMによる三次元再構築用連続断面画像の取得 条件追加1条件追加につき11,110円

※各条件(観察、分析、加工面積)により費用は変わりますので、詳細は担当職員にお問い合わせください。
ご要望に応じて見積書を作成いたします。

使用する機器について

この試験に使用する機器は以下の通りです。

担当部署

川崎技術支援部 微細構造解析グループ

分類

溝の口支所 試験計測 | 微細構造解析分野 | マルチ解析用集束イオンビーム装置(FIB)
  • この試験に関連するお問い合わせ
  • 担当:川崎技術支援部 微細構造解析グループ
  • その他の技術相談はこちらから
  •