低エネルギーイオンミリング(ジェントルミル)
透過電子顕微鏡(TEM)サンプルのダメージ層除去ならびに薄片化の専用装置です。TEMサンプルがダメージ層に覆われて観察しにくい、厚いため電子線が透過しにくいときなどに、アルゴンイオンビームを照射することで、より良いTEMサンプルを作製することができます。
【用途・特徴】
極低加速エネルギー(100eV~2keV)のアルゴンスパッタリングによって、イオンミリング装置やFIBで作成したTEMやSEM試料の最表面ダメージ層の除去
【用途・特徴】
極低加速エネルギー(100eV~2keV)のアルゴンスパッタリングによって、イオンミリング装置やFIBで作成したTEMやSEM試料の最表面ダメージ層の除去
料金について
料金表番号 | 試験名 | 単位 | 料金 |
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K4180 | 低エネルギーイオンミリング(ジェントルミル) | 1試料1条件につき | 13,530円 |
※低エネルギーイオンミリング(ジェントルミル)のみのご利用を希望された場合にも、サンプルの状態確認のためのTEM観察(10万倍以下)料金が加算されます。
使用する機器について
この試験に使用する機器は以下の通りです。
担当部署
川崎技術支援部 微細構造解析グループ分類
溝の口支所 試験計測 | 試料前処理 | 試料前処理- この試験に関連するお問い合わせ
- 担当:川崎技術支援部 微細構造解析グループ
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