低エネルギーイオンミリング(ジェントルミル)

透過電子顕微鏡(TEM)サンプルのダメージ層除去ならびに薄片化の専用装置です。TEMサンプルがダメージ層に覆われて観察しにくい、厚いため電子線が透過しにくいときなどに、アルゴンイオンビームを照射することで、より良いTEMサンプルを作製することができます。


【用途・特徴】
極低加速エネルギー(100eV~2keV)のアルゴンスパッタリングによって、イオンミリング装置やFIBで作成したTEMやSEM試料の最表面ダメージ層の除去

料金について

料金表番号試験名単位料金
K4180低エネルギーイオンミリング(ジェントルミル)1試料1条件につき13,530円

※低エネルギーイオンミリング(ジェントルミル)のみのご利用を希望された場合にも、サンプルの状態確認のためのTEM観察(10万倍以下)料金が加算されます。

使用する機器について

この試験に使用する機器は以下の通りです。

担当部署

川崎技術支援部 微細構造解析グループ

分類

溝の口支所 試験計測 | 試料前処理 | 試料前処理
  • この試験に関連するお問い合わせ
  • 担当:川崎技術支援部 微細構造解析グループ