平面イオンミリング法 (小さい試料用)

イオンミリング法は、イオンミリング装置を用いて、サンプルをアルゴンイオンビームで、イオン研磨することにより加工歪の少ないサンプルを作製できます。
特殊ホルダーを使用することで、EBSDなどの平面イオンミリングとしても使用することができます。


・機種名:Ilion+(Gatan社)
・加速電圧:1kV~6kV
・冷却温度:液体窒素冷却、温度調節機構あり
・試料サイズ:担当職員にお問い合わせください。

料金について

料金表番号試験名単位料金
K4240平面イオンミリング法 (小さい試料用)  A:容易な試料1試料につき11,330円
K4242平面イオンミリング法 (小さい試料用)  B:標準的な試料1試料につき22,440円
K4244平面イオンミリング法 (小さい試料用)  C:複雑な試料1試料につき33,440円
K4246平面イオンミリング法 (小さい試料用)  D:非常に複雑な試料1試料につき44,550円
K4247平面イオンミリング法 (小さい試料用)  条件追加1条件追加につき5,610円
K4248平面イオンミリング法 (小さい試料用)  クライオクライオの使用 1試料につき5,610円

担当部署

川崎技術支援部 微細構造解析グループ

分類

溝の口支所 試験計測 | 試料前処理 | 試料前処理
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  • 担当:川崎技術支援部 微細構造解析グループ
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