ECRプラズマエッチング装置
【用途・特徴】
ドライエッチング加工
ドライエッチング加工
メーカー名
株式会社ダイヘン型番
ESQF-20L仕様
プラズマ発生方式;電子サイクロトロン共鳴/マイクロ波出力;1KW/RFバイアス;100W/最高磁束密度;2000Gauss/試料サイズ;3inch/試料加熱温度;400℃ご利用方法
試験計測(依頼試験)で利用できます料金について
■ 試験計測(依頼試験)料金
ECRプラズマエッチング
料金NO. | 項目 | 単位 | 料金 | 担当部名 |
---|---|---|---|---|
E1190 | ECRプラズマエッチング | 標準1試料当たり | 48,950円 | 電子技術部 |
導入年度
平成3年度- この装置に関連するお問い合わせ
- 担当:電子技術部 電子材料グループ