電気炉

半導体プロセス/熱処理/酸化/拡散/シンター

メーカー名

光洋リンドバーグ株式会社

型番

272M100

仕様

温度400~1200℃/安定性±0.25℃/均熱長350mm/N2、O2、Ar雰囲気/炉心管直径50mm

ご利用方法

機器使用で利用できます

料金について

■ 機器使用料金 (特に表記のない場合は、1時間当たりの料金となります。)

料金NO.設備機器名メーカー・型式使用料担当部名
E6620電極形成装置の本体システムKHエレクトロニクス 特別仕様18,480円電子技術部

導入年度

昭和63年度
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  • 担当:電子技術部 電子デバイスグループ
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