マグネトロンスパッター装置

【用途・特徴】
薄膜製造

メーカー名

日電バリアン株式会社

型番

SPF-210H

仕様

高周波スパッタ

ご利用方法

試験計測(依頼試験)で利用できます

料金について

■ 試験計測(依頼試験)料金

スパッタ成膜

料金NO.項目単位料金担当部名
E1158スパッタ成膜 標準1試料当たり48,730円電子技術部

導入年度

昭和53年度
  • この装置に関連するお問い合わせ
  • 担当:電子技術部 
  • その他の技術相談はこちらから
  •