低エネルギーイオンミリング(ジェントルミル)


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透過電子顕微鏡(TEM)サンプルのダメージ層除去ならびに薄片化の専用装置です。TEMサンプルがダメージ層に覆われて観察しにくい、厚いため電子線が透過しにくいときなどに、アルゴンイオンビームを照射することで、より良いTEMサンプルを作製することができます。

【用途・特徴】
極低加速エネルギー(100eV~2keV)のアルゴンスパッタリングによって、イオンミリング装置やFIBで作成したTEMやSEM試料の最表面ダメージ層の除去

メーカー名

リンダ社

型番

Model Ⅳ5

ご利用方法

試験計測(依頼試験)機器使用技術開発受託(受託研究)で利用できます

料金について

■ 試験計測(依頼試験)料金

料金についてはお問い合わせください。

低エネルギーイオンミリング(ジェントルミル)

料金NO.項目単位料金担当部名
K4180低エネルギーイオンミリング(ジェントルミル)1試料1条件につき13,530円川崎技術支援部

■ 機器使用料金 (特に表記のない場合は、1時間当たりの料金となります。)

料金NO.設備機器名メーカー・型式使用料担当部名
K2425低エネルギーイオン研磨装置 Model IV5(ジェントルミル) (1時間あたり)リンダ社 Model IV5(ジェントルミル)11,000円川崎技術支援部

※低エネルギーイオンミリング(ジェントルミル)のみのご利用を希望された場合にも、サンプルの状態確認のためのTEM観察(10万倍以下)料金が加算されます。

導入年度

平成24年度
  • この装置に関連するお問い合わせ
  • 担当:川崎技術支援部 微細構造解析グループ
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