機械部品等の表面粗さ測定・表面形状測定
表面粗さ測定・表面形状測定でわかること
- 図1 表面粗さ・表面形状測定機
表面粗さ・表面形状測定機(図1)とは、対象物の表面を触針でなぞり、表面の凸凹(粗さ)を評価・測定する装置です。
形状データ(断面曲線)に各種のフィルターをかけることで粗さ曲線に変換し数値として出力します。一般的に、図面指示でよく使われているRa評価以外に、目的の機能に沿った表面性能(光沢、摩擦、摩耗、気密、接着等)に関する評価(図2)が行えます。
- 図2 表面粗さ評価パラメータ例
形状データからは、寸法測定や幾何公差の評価も可能です。三次元座標測定機の接触子では接触できない、ネジ谷底や微小な角R等の測定に利用できます。
本測定機では、3種類の検出器を選択できます。
1. 粗さ測定用検出器
- 図3 粗さ測定用検出器
おもにnm~μmの範囲で、形状データを検出し、各種フィルターをけかることで、表面粗さに関する各種評価を行います。また、断面曲線から、段差量や摩耗量の測定にも利用できます。
2. 表面形状測定用検出器
- 図4 表面形状測定用検出器
おもにμm~mmの範囲で、形状データを検出し、寸法測定や幾何公差の評価を行います。下方向に加え、上方向にも測定できるため、内径や外径、厚みも測定が可能です。
3. ハイブリッド検出器
- 図5 ハイブリッド検出器
1.と2.の機能を有する検出機です。おもにnm~mmの範囲で、粗さ測定と寸法測定を同時に行うことが可能です。
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