機械部品等の表面粗さ測定・表面形状測定

表面粗さ・表面形状測定機（図1）とは、対象物の表面を触針でなぞり、表面の凸凹（粗さ）を評価・測定する装置です。
形状データ（断面曲線）に各種のフィルターをかけることで粗さ曲線に変換し数値として出力します。一般的に、図面指示でよく使われているRa評価以外に、目的の機能に沿った表面性能（光沢、摩擦、摩耗、気密、接着等）に関する評価（図2）が行えます。

おもにnm~μmの範囲で、形状データを検出し、各種フィルターをけかることで、表面粗さに関する各種評価を行います。また、断面曲線から、段差量や摩耗量の測定にも利用できます。

おもにμｍ～mmの範囲で、形状データを検出し、寸法測定や幾何公差の評価を行います。下方向に加え、上方向にも測定できるため、内径や外径、厚みも測定が可能です。

1.と2.の機能を有する検出機です。おもにnm～ｍｍの範囲で、粗さ測定と寸法測定を同時に行うことが可能です。