TEM試料調製 低エネルギーイオンミリング (ジェントルミル)

透過電子顕微鏡(TEM)サンプルのダメージ層除去ならびに薄片化の専用装置です。TEMサンプルがダメージ層に覆われて観察しにくい、厚いため電子線が透過しにくいときなどに、アルゴンイオンビームを照射することで、より良いTEMサンプルを作製することができます。

特徴
・集束イオンビーム装置(FIB)で作製したTEMサンプルのダメージ層を除去することができます。
・試料回転ステージにより、360°全方向から任意の方向でビーム照射が可能です。
・サンプルを薄片化することで、高分解能観察が可能となります。

・加速電圧:100V~2kV
・ビーム入射角度:1~45°
・オシレーション機能:1~120°
・試料サイズ:3mmφメッシュ、FIB用各種メッシュ

料金について

料金表番号試験名単位料金
K1425TEM試料調製 低エネルギーイオンミリング (ジェントルミル)1試料1条件につき13,530円

使用する機器について

この試験に使用する機器は以下の通りです。

担当部署

川崎技術支援部 微細構造解析グループ

分類

溝の口支所 試験計測 | 微細構造解析分野 | TEM試料調製
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  • 担当:川崎技術支援部 微細構造解析グループ
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